Токопроводящий материал

ОПИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ПАТЕНТУ

<и> 5l 8166

Союз Соеетскик

Социалистические

Республик (61) Дополнительный к патенту (22) Заявлено 30.10.73 (21) 1968808/21 (23) Приоритет — (32) 31.10.72 (31) Р2253490.3 (33) ФРГ

Опубликовано 15.06.76. Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 30.07.76

1 (51) М. Кл. Н 01В 1/02

Н 01С 7/06

Н 05К 3/10

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 621.396.69-181.5 (088.8) по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

Иностранцы

Манфред Роши и Алоис брауэр (ФРГ) Иностранная фирма

«Сименс АГ» (ФРГ) (71) Заявитель (54) ТОКОПРОВОДЯЩИЙ МАТЕРИАЛ

80 — 98

2 — 20

Известны токопроводящие материалы преимущественно для элементов тонкопленочных схем на основе сплава тантал — алюминий с содержанием алюминия 3 — 20 ат. %. При такой низкой концентрации алюминия тантал— алюминиевые сплавы имеют форму кристаллов -тантала с высоким отрицательным температурным коэффициентом электрического сопротивления и низкой температурной стабильностью.

Известны также тантал — алюминиевые сплавы с содержанием алюминия 25 — 60 ат., применяемые для металлопленочных резисторов. Эти резисторы имеют несколько высшую стабильность по сравнению с резисторами из нитрида тантала.

Для расширения диапазона значений удельного сопротивления и повышения температурной стабильности предлагаемый материал содержит компоненты сплава в следующих количествах, ат. %:

Алюминий

Тантал

На чертеже показан описываемый токопроводящий материал, разрез.

Токопроводящий материал представляет собой подложку 1 с напыленной в вакууме алюминиево-танталовой пленкой 2.

Изготавливают токопроводящий материал следующим образом.

Катод, образованный из алюминия и тантала, распыляется посредством высокочастотного разряда при давлении аргона около

1,5. 10 — тор. Параметры напыления: напряжение 2,5 кВ, ток 0,6 А, частота тока 27,12 мГц.

Расстояние между мишенью и подложкой составляет около 4 см, время напыления выбирают в зависимости от требуемой толщины пленок в пределах 5 — 30 мин.

Описываемый токопроводящий материал имеет широкий диапазон значений удельного сопротивления и высокую температурную стабильность. Токопроводящие материалы из чистого тантала или алюминия, а также из тантал — алюминиевого сплава с содержанием алюминия 50 ат. при 500 (; на воздухе

2О полностью окисляются уже через несколько часов. Предложенный материал даже после

20-часового отжига при 500 С на воздухе не имеет заметного окисления, поэтому резисторы, изготовленные из такого материала, обладают

25 высокой стабильностью даже при высоких электрических нагрузках и температурах окружающего воздуха. 11ри этом можно отказаться от защитных пленок или заливки. Кроме того, необходимо отметить высокие искровые

30 напряжения — 400 В для сплава с 7 ат. %

518166

Искровое напряжение при формовке в 0,1 о, -ном растворе нро„в тк

10 —" /ОК (ppm/ Ê) P мкОм/см (и см) Решетка

Состав сплава

А! + 15 ат. о; Та

А1+7 ат. % Та

=300

=400

Аморфная — 100

200

fCC, А!— решетка

+100

Алюминий

Тантал

80 — 98

2 — 20

Составитель Т. Богдалова

Редактор А. Пейсоченко Техред Т. Курилко Корректор О. Тюрина

Заказ 1649;2 Изд. № 1440 Тираж 963 Подписное

Ц1-1ИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4, 5

Типография, пр. Сапунова, 2 тантала в алюминии и 300 В для сплава с

15 ат. % тантала в алюминии. Поэтому эти обе фазы могут служить в качестве основных слоев для высококачественных конденсатоТемпературная стабильность, удельное электрическое сопротивление, температурный коэффициент сопротивления TKR и поведение при формовке таковы, что каждая из обеих фаз может служить основным слоем как для резисторов, так и для конденсаторов. При этом резисторы и конденсаторы могут быть элементами интегральных схем или дискретными элементами. Сплав с 7 ат. % Та сравнительно низкоомен, так что он может применяться для печатных проводников. ров, Измерение искрового напряжения производилось в 0,1%-ном растворе НзРО4.

Свойства сплавных пленок иллюстрирует таблица.

5 Формула изобретения

Токопроводящий материал преимущественно для элементов тонкопленочных схем на основе сплава тантал — алюминий, о т л и ч а ю щ и й-!

О ся тем, что, с целью расширения диапазона значений удельного сопротивления материала и повышения его температурной стабильности, он содержит указанные компоненты сплава в следующих количествах, ат. %:!