Устройство для нанесения тонких пленок на объектодержатель электронного микроскопа
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ОБЪЕКТОДЕРЖАТЕЛЬ ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА, содержащее нагреваемый электронной бомбарцрровкой источник наносимо'го материала,закрепленный в камере объектов электронного микроскопа, от_личаю-' ГЦ е е с я тем, что, с целью снижения уровня помех от источника и упрощения конструкции, источник испаряемого материала выполнен в виде слоя, нанесенного на сменную диафрагму, закрепленную в канале объектодержателя со стороны, обращенной к объек-' тодержателю.%4чч /^^i?rgс €(Лсел!UD ^00
СОНИ СОВЕТСНИХ—
СОЦКАЛИСТИЧЕСНИХ
Эш С 23 С 13/12
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ABTOPCH0MV СВИДЕТЕЛЬСТВУ
OCff+APGTBEHHblA KOMHTET CCCP
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 1912381/21 (22) 18.04.73 (4б) 30.06.83.. Бюл.924 (72) Г.С. Жданов (53) б21.793.14.002.51(088.8) (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ
ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ОБЪЕКТОДЕРЖАТЕЛЬ
ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА, содержащее нагреваемый электронной бомбарщировкой источник наносимого материала, закрепленный в камере объектов электронного микроскопа, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью снижения уровня помех от- источника и упрощения конструкции, источник испаряемого материала выполнен в виде слоя, нанесенного на сменную диафрагму, закрепленную в канале объектодержателя со стороны, обращенной к объекI тодержателю.
51097S
Редактор О. Юркова ТехредМ.Костик Корректор H. Ватрушкина
Заказ 6690/4 Тираж 1106 Подписное
ВИИИПИ Государственного комитета СССР по, делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Изобретение относится к электронной микроскопии, преимущественно к, приборам просвечивающего типа.
Известно устройство для нанесения тонких пленок на объектодержатель электронного микроскопа, содержащеее 5 нагреваемый электронной бомбардировкой источник наносимого материала, закрепленный в камере объектов электронного микроскопа.
Однако такое устройство отличает- ц ся сяожностью конструкции и высоким уровнем помех от источника.
Цель изобретения - снижение уровня помех от источника и упрощение конструкции. 35
Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве источник испаряе.мого материала выполнен в виде слоя, нанесенного на сменную диафрагму, закрепленную в канале объектодержателя со стороны, обращенной к объектодержателю.
Сущность изобретения поясняется
:чертежом.
Объект 1 расположен в патроне 2 и прижат к поверхности патрона.втулкой объектодержателя 3, в расширении канала объектодержателя помещена диафрагма 4, покрытая слоем испаряемого вещества 5 на части поверхности,. обращенной к объекту. Трубка 6препят- . М ствует перекосу диафрагмы при уста- . новке объектодержателя в прибор.
Испаряемое вещество наносят предварительно на несколько диафрагм
Во вспомогательной вакуумной установ-35 ке или другим путем, например электролитическим осаждением. Одну .из диафрагм устанавливают в канал объектодержателя так, чтобы слой испаряемого вещества находился на стороне, 4g обращенной к объекту.
Нагрев диафрагмы осуществляется электронным лучом микроскопа, часть которого проходит через отверстие в диафрагме и создает изображение объекта. Так как диафрагма прижимается к поверхности объектодержателя только за счет собственного веса, отвод тепла от диафрагмы мал. Если между диафрагмой и объектодержателем. находится теплоизолирующий слой, которым может, быть и естественная окисная пленка на поверхности металла, то мощности электронного луча достаточно для нагрева диафрагмы до 3000 С.
Температуру нагрева, а значит и скоФ рость напыпения, можно менять потенциометрами регулировки тока луча и тока конденсорной .линзы.
Смену диафрагмы после окончания испарения производят одновременно со сменой объекта. Для этого объектодержатель выводят из колонны микроскопа с помощью шлюзового устройства, имеющегося во всех современенных приборах. Промежуток времени между циклами напыления может быть таким путем уменьшен до нескольких минут.
Другим преимуществом установки испарителя в виде диафрагмы непосредственно в объектодержатель является уменьшение загрязнения колонны микроскопа испаряемым веществом.
Испарение электронным лучом может осуществляться с любой требуемой скоростью. Яркость иэображения, снижаю щаяся из-за расфокусировки луча, достаточна для наблюдения объекта при увеличении порядка 10 тыс. При напылении пленок на объект не происходит ухудшения -качества изображения или отклонения электронного луча, затрудняющего использование стандартных испарительных приспособлений.