Способ изготовления чувствительно-го элемента термометра сопротивле-ния

О П И С А Н И Е (») 508688

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 23.08.74 (21) 2054888/18-10 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.03.76. Бюллетень № 12

Дата опубликования описания 18.05.76 (51) М. Кл. G 01К 7/16

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 536.531(088.8) ло делам изобретений и цтхрытиК (72) Авторы изобретения

Л. Н. Лариков, И. Д. Войтович, О, А. Шматко и В. Н. Сосницкий

Институт металлофизики АН Украинской ССР и Институт кибернетики АН Украинской ССР (71) Заявители (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЪНОГО

ЭЛЕМЕНТА ТЕРМОМЕТРА СОПРОТИВЛЕНИЯ

Изобретение относится к области контактной термометрии.

Известен способ изготовления чувствительного элемента термометра сопротивления, заключающийся в нанесении пленки олова,на диэлектрическую подложку путем вакуумного напыления.

Однако чувствительность термометра сопротивления ограничена влиянием шумов и недостаточной крутизной зависимости сопротивления от температуры.

Цель изобретения — повышение чувствительности термометра сопротивления.

Для этого на диэлектрическую подложку наносят слой свинца, обрабатывают его поверхность холодной плазмой тлеющего разряда в атмосфере гелия, содержащей не более

0,02% кислорода, а затем после 40 — 70 мин выдержки слоя свинца в атмосфере гелия при давлении 5 10 — — 5 10 4 тор нагревают слой свинца и диэлектрическую подложку до 70—

80 С и наносят слой олова с,последующей термической обработкой слоев свинца и олова при 50 — 60 С в течение 30 — 40 мин.

На чертеже показан чувствительный элемент, изготовленный по предлагаемому способу, где 1 — диэлектрическая подложка, 2— слой свинца, 3 — слой олова, 4, 5 — токоподводы.

Диэлектрическую подложку выполняют из слоя ситалла или другого изоляционного материала. Слой олова наносят с перекрытием слоя свинца, руководствуясь следующими соотношениями: b=a — 12a и c(a, где а— длина слоя свинца; b — длина слоя олова, расположенного,непосредственно на диэлектрической подложке; с — ширина слоев свинца и олова.

При измерении падения напряжения на

10 пленке олова непосредственно ниже Т„свинца температурная зависимость электросопротивления имеет разкий скачок (до 260 /О). Величина эффекта тем меньше, чем длиннее участок оловянной пленки. При дальнейшем пони15 женин температуры электросопротивление чувствительного элемента резко падает и при

3,87 I(он переходит в сверхпроводящее состояние. Чтобы снова перевести чувствительный элемент в сверхпроводящее состояние не20 обходимо его нагреть выше 7,2 К, а затем охладить до 3,87 К. Крутизна зависимости скачка сопротивления при понижении температуры составляет приблизительно 2600 ом/

/град.

Формула изобретения

Способ изготовления чувствительного элемента термометра сопротивления, заключающийся в нанесении пленки олова путем ваку30 умного напыления .на диэлектрическую под508688

Составитель А. Тереков

Техред Г. Андреева

Корректор О. Тюрина

Редактор Т. Рыбалова

Заказ 997/18 Изд. № 1213 Тираж 814 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 ложку, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности термометра сопротивления, на диэлектрическую подложку наносят слой свинца, обрабатывают его поверхность холодной плазмой тлеющего разряда в атмосфере гелия, содержащей не более 0,02% кислорода, а затем после 40—

70 мин выдержки слоя свинца в атмосфере гелия при давлении 5 10 — — 5 10 4 тор нагревают слой свинца и диэлектрическую подложку до 70 — 80 С и .наносят слой олова с последующей термической обработкой слоев свинца и олова при 50 — 60 С в течение 30—

40 мин.