Травильный раствор

Авторы патента:

C23F1 - Травление металлического материала химическими средствами (изготовление печатных форм B41C; изготовление печатных схем H05K)

п1 47l402

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соввтскик

Социалистическик

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 02.03.73 (21) 1887879/26-21 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 25.05.75. Бюллетень ¹ 19

Дата опубликования описания 11.09.75 (51) М. Кл. С 23f 1/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий. (53) УДК 621.794.422. .2 (088.8) (72) Авторы изобретения

М. Х. Ахмадеев, Е. Ф. Дедюхин, М. А. Гисин, О. Д. Караулова и H. С. Санчугова (71) Заявитель (54) ТРАВИЛЬНЫЙ РАСТВОР

Предмет изобретения

10 вЂ” 20

0,5 вЂ” 1,2

18,8 вЂ” 49.5

Изобретение относится к технологии, в частности к составам для травления тонкослойных покрытий из германия и моноокиси кремния, и может быть использовано при изготовлении оптических тонкослойных покрытий, а такжс в радиоэлектронике и полупроводниковой технике.

Известен травильный раствор, содержащий концентрированную фтористоводородную кислоту, азотную кислоту и воду.

Однако скорость травления покрытий из

I ермания и моноокиси кремния в этом растворе недостаточная.

Целью изобретения является повышение скорости травления.

Для этого раствор дополнительно содержит азотнокислое серебро при следующем соотношении компонентов, вес. о/о: азотная кислота (концентрированная) 40 вЂ” 60 фтористоводородная кислота (концентрированная) 10 вЂ” 20 азотнокислое серебро 0,5 вЂ” 1,2 вода 18,8 вЂ” 49,5.

Травление в данном растворе осуществляют при комнатной температуре с последующей промывкой обработанных деталей дистиллированной водой.

Травильный раствор позволяет в течение

0,5 вЂ” 1 мин снимать тонкослойные покрытия из германия и моноокиси кремния как со всей поверхности подложки, так и с ее отдельных

5 участков с использованием маски пз фоторезиста, при этом сохраняются оптическая поверхность стеклянных подложек и четкие границы заданного контура рисунка тонкослойного покрытия, 10

Травильный раствор, преимущественно для

15 тонкослойных покрытий из германия и моноокиси кремния, включающий концентрированную азотную кислоту, концентрированную фтористоводородную кислоту и воду, о т л ич а ю шийся тем, что. с целью повышения

20 скорости травления, он дополнительно содержит азотнокислое серебро при следующем соотношении компонентов, вес. о. азотная кислота (концентрированная) 40 вЂ” 60

25 фтористоводородная кислота (концентрированная) азотнокислое серебро вода

Система электрохимической защиты от коррозии гребных винтов и валов судов с бортовой сетью постоянного тока // 469772

Способ получения продуктов конденсации ароматических моно-и полигалоидуглеводородов с аммиаком // 469771

Раствор для глубокого травления алюминиевых сплавов // 462899

Способ защиты черных металлов от нейтральной коррозии // 456545

Способ обработки железоуглеродистых сплавов для вб1явления эвтектических зерен // 453439

Способ химической обработки питательной воды для парогенераторов высокого давления // 451635

Раствор для травления диэлектриков // 450855

Травитель // 448253

Способ защиты металлов от атмосферной и углеводородной коррозии // 447941

Способ поддержания коррозионной стойкости стального циркуляционного контура со свинецсодержащим теплоносителем // 2100480

Изобретение относится к технологии поддержания коррозионной стойкости поверхностей, соприкасающихся в процессе эксплуатации с жидкими свинецсодержащими сплавами, находящимися при температуре до 900 К и может быть использовано в металлургии, химической промышленности, ядерной и традиционной энергетике

Ингибитор кислотной коррозии в нефтепромысловых средах // 2100481

Изобретение относится к области защиты металлов от коррозии и может быть использовано в нефте- и газодобывающей промышленности, в частности для защиты оборудования нефтедобычи от кислотной коррозии, в том числе сероводородной

Ингибитор кислотной коррозии в нефтепромысловых средах // 2100481

Способ ремонта удлиненного электрода // 2101387

Изобретение относится к способу ремонта такого электрода, имеющего поврежденный участок оболочки, и предполагает крепление оболочки к сердцевине с каждой стороны поврежденного участка, который затем можно удалить вместе с соответствующим ему накопителем

Анодный заземлитель // 2101388

Изобретение относится к катодной защите объектов от коррозии и электрохимической обработки почв, илов и др

Способ очистки и ингибирования изделий из меди и медно- стальной проволоки // 2102530

Пассивирующий раствор для обработки сосудов и аппаратов, контактирующих с перекисью водорода // 2102531

Изобретение относится к составу растворов, предназначенных для обработки внутренней поверхности емкостей, трубопроводов и других устройств, контактирующих с перекисью водорода различной концентрации, и может найти применение в производстве и хранении перекиси водорода в различных отраслях промышленности

Автоматическая катодная станция // 2102532

Изобретение относится к оборудованию для защиты от коррозии подземных и подводных металлических конструкций и может быть использовано для защиты от коррозии газопроводов, водопроводов, кабелей связи, нефтепроводов, наружной обшивки кораблей, балластных танков, морских, речных буев, пирсов, опор мостов, шпунтовых стенок и т.п

Противокоррозионный состав "экомарин-1" // 2103413

Изобретение относится к защитным противокоррозионным составам, в частности к ингибированным составам на основе отходов масложировых производств, и может быть использовано для защиты стальных конструкций от атмосферной коррозии