Раствор для травления диэлектриков
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
ttt) 450855
Союз Советских
Социалистических рвсофлик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетел ства (22) Заявлено 07.12.72 (21) 1853003 "6-0 с присоединением заявки № (51) М. Кл. С 23f 1/04
С 04b 41/00
Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Опубликовано 25.11.74. Бюллетень № 43
Дата опубликования описания 05.06.75 (53) УДК 621.396.6:
: 621.794.422 (088.8) (72) Автор изобретения
С. М. Решетникова (71) Заявитель (54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИКОВ
ГосУдарственный комитет (32) Приоритет
Изобретение относится к технологии конденсаторов для электронных СВЧ-приборов, в частности к растворам, применяемым при травлении конденсаторной керамики.
Известен водный раствор для травления, содержащий 50 мг/л гидразина (в пересчете на солянокислый гидразин — 104 мг/л) и соляной кислоты до рН раствора в пределах 2,5 — 3,5.
Однако известный раствор пе обеспечивает разделение диэлектриков, преимущественно конденсаторной керамики, на отдельные 1(ottденсаторы из-за недостаточного содержания в нем кислоты и гидразина.
Целью изобретения является повышение скорости травления и качества вытравливаемого контура.
Для этого исходные компоненты раствора взяты в следующем соотношении в весовых частях на одну весовую часть конденсаторной керамики:
Концентрированная соляная кислота 100 †1
Солянокислый гидразин 0,5 — 1,0
Предложенный раствор имеет рН !.
Предложенный раствор применим для разделения конденсаторной керамики на отдельные конденсаторы с четким контуром при групповом способе получения миниатюрных конденсаторов, например с размерами 4,0Х2;
5Х0,16 мм; 6,0Х4; 5Х0,16 мм.
Предмет изобретения
Раствор для травления диэлектриков, преимущественно конденсаторной керамики, содержащий соляную кислоту и солянокислый
15 гидразин, отл ич а ю щи и с я тем, что, с целью повышения скорости травления и качества вытравливаемого контура, исходные компоненты взяты в следующем соотношении в весовых частях на одну весовую часть конден20 саторной керамики:
Концентрированная соляная кислота 100 — 120
Солянокислый гидразин 0,5 — 1,0
