Способ придания формы и обработки поверхностей монокристаллов

пц 47 030 6

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН MSI

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Воветскик

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 30.11.73 (21) 1976884/23-26 с присоединением заявки № (51) М. Кл. В Olj 17/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (23) Приоритет 01.12.72 (31) ПВ 8231-72 (33) ЧССР

Опубликовано 15.05.75. Бюллетень № 18 (53) УДК 548 55(088 8) Дата опубликования описания 11.08.75 (72) Авторы изобретения

Иностранцы

Честмир Барта, Олдрих Лишка, Ярослав Лоуда, Емил Рыттнауер, Ян Жемличка (ЧССР) Иностранное предприятие

«Ческословенска Академие вед Прага» (ЧССР) (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПРИДАНИЯ ФОРМЫ

И ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТЕЙ МОНОКРИСТАЛЛОВ

Предмет изобретения

Изобретение может быть использовано в технологии полупроводников и драгоценных камней.

Известен способ придания формы и обработки, поверхностей монокристаллов, способных к сублимации, например их резка и полировка различными режущими инструментами и травильными растворами.

Цель изобретения — уменьшить потери монокристалла и повысить производительность.

Предлагаемый способ отличается от известного тем, что монокристалл подвергают воздействию инструмента, температура которого равна или выше той температуры, при которой кристалл сублимирует.

Пример. Монокристалл хлорида ртути

HggC1g с температурой сублимации 400 С ориентируют на деревянной подложке перпендикулярно к оптической оси кристалла и укладывают в угломерный столик режущего инструмента. На другом конце инструмента создается нагрузка примерно в 36 г. Режущим инструментом служит нить сопротивления длиною в 150 мм и диаметром 0,15 мм, расщепленные концы которой укрепляются в крейцкопфе, совершающем 58 колебаний в минуту. Режущую нить нагревают с помощью регулировочного трансформатора до температуры в 520 С, которая поддерживается в течение всего процесса обработки. При этом нить имеет поступательное колебательное движение в направлении желательного разреза, поэтому от кристалла отрезается часть с плоскои и гладкой поверхностью ве10 личиною в 220 мм . Окончательная обработка этой поверхности заканчивается после дующей полировкой.

Способ придания формы и обработки по20 верхностей монокристаллов, способных к сублимации, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности и уменьшения потерь, монокристалл подвергают воздействию инструмента, температура ко25 торого равна или выше той температуры, при которой кристалл сублимирует.