Испаритель
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 22.01.73 (21) 1875463/22-1 с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано 05.04.75. Бюллетень № 13 Дата опубликования описания 07.08.75 (51) М. Кл. С 23с 13/12 Гооударстоеииый кемнтат-. Сооета Мннистроа СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.793.14.002. .52. (088.8) (72) Авторы изобретения Ю. Ю. Бальчюнас, В. И. Гайдялис, Э. А. Монтримас, А. С. Таурайтис и А. Б. Янкаускас Научно-исследовательский институт электрографии, Каунасский экспериментальный завод средств автоматизации и Вильнюсский государственный университет им. В. Капсукаса (71) Заявители B A T Ei @043 3"00РЫ 8 (54) И С ПАР И ТЕЛ Ь Предмет изобретения Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для получения тонких пленок. Известен испаритель для вакуумных установок, содержащий металлический контейнер с перфорированной крышкой, нагреватель и отражательный экран, смонтированный параллельно крышке. В таком испарителе испарение происходит с постоянной площадью испарения. Это достигается тем, что испаритель снабжен теплопроводом, смонтированным внури контейнера, и перфорированной диафрагмой, установленной параллельно крышке и выполненной с возможностью перемещения, а отражательный экран укреплен на теплопроводе. Форма перфорации диафрагмы выполнена идентичной форме перфорации крышки. На чертеже представлен испаритель. Испаритель состоит из контейнера 1 с перфорированной крышкой 2, нагревателей 3 и 4, отражательного экрана 5, теплопровода 6, установленного внутри контейнера 1, и перфорированной диафрагмы 7, перфорация которой идентична перфорации крышки 2. Отверстия крышки 2 перекрываются диафрагмой 7, выполненной с возможностью перемещения относительно крышки 2. Для предотвращения попадания капель испаряемого вешества на напыляемую поверхность экран 5 смонтирован на теплопроводе 6 и выполнен в виде навеса. Подбором диаметра отверстий или их количества в крышке 2 испарителя, а также степенью открытия отверстий диафрагмой 7 можно в широких пределах управлять скоростью напыления. При этом температуру испаряемого вещества в резервуаре испарителя можно менять в широких пределах, оставляя заданную скорость напыления слоя, 15 1. Испаритель для вакуумных установок, содержащий металлический контейнер с перфорированной крышкой, нагреватель и отражательный экран, смонтированный параллельно крышке, отличающийся тем, что, сцелью 20 получения пленок заданного состава путем обеспечения регулирования площади испарения, он снабжен теплопроводом, смонтированным внутри контейнера, и перфорированной диафрагмой, установленной параллельно 25 крышке и выполненной с возможностью перемещения, а отражательный экран укреплен на теплопроводе. 2. Испаритель по п. 1, отличаю щи и с я тем, что форма перфорации диафрагмы выпол30 иена идентичной форме перфорации крышки, 466300 Составитель Л. Анисимова Техред Т. Миронова Корректор Л, Котова Редактор О. Филиппова Типография, пр. Сапунова, 2 Заказ 1874/2 Изд. № 706 Тираж 966 Подписное БНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Я-35, Раушская наб., д. 4/5
