Способ изготовления кварцевых резонаторов

Авторы патента:

H03H3/02 - для изготовления пьезоэлектрических и электрострикционных резонаторов или цепей (схем) (H03H 3/08 имеет преимущество)

IitI462272

ОП ИСАН ИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельствавЂ” (22) Заявлено 11.09.72 (21) 1827866/26-9 (51) M Кл. Н 031т 3/02 с присоединением заявки №вЂ”

1осударстоенный комитет

Саеета Министрое СССР по делам изобретений и открытии (32) ПриоритетвЂ”

Опубликовано 28.02.75. Бюллетень № 8 (53) УДК 621.372.412 (088.8) Дата опубликования описания 07.08.75 (72) Авторы изобретения

Н. С. Чекаев, П, E. Мотки, Л. А. Любимов и Э. П. Золотов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНАТОРОВ

Изобретение относится к области электронной техники.

Известны способы изготовления кварцевых резонаторов, основанные на механической обработке, химической очистке и доводке путем мягкого травления кварцевых кристаллов.

Недостатком известных спосооов является высокий процент брака готовых изделий.

Цель изобретения вЂ” повышение процента выхода годных изделий и оптимизация техно- I0 логического процесса.

Для этого после химической очистки проводят дискретную сортировку партий. каждую партию подвергают параллельной обработке в автономных режимах мягкого травления, à 1> нанесение электродов проводят после оконча тельной сборки пьезоэлемента перед герметизацией.

На чертеже в виде функциональной схемы показана последовательность операций прп 20 осуществлении предлагаемого способа.

Эти операции: распиливание 1, измерение угла среза 2, глубокое травление 3, шлифование 4, контроль размера зерен абразивов 5, отмучивание абразивов 6, коррекция план- 25 шайбы 7, термопрогрев 8, полирование 9, контроль размера зерен 10, отжиг порошка 11, коррекция планшайбы 12, кругление контура кварцевых заготовок 13, частичная отбраковка 14, вторичное шлифование 15, контроль раз- З0 мера зерен 16, отмучивание абразивов 17, коррекция планшайбы 18, вторичное полпрование 19, контроль размера зерен 20, отжиг порошка 21, коррекция планшайбы 22, ультразвуковая очистка 23, химическая очистка 24„ измерение основных параметров 25, вторичная отбраковка 26, дискретная партионпо-допусковая сортировка 27, параллельное мягкое травление 28, вжигание коллоидного серебра 29, сборка и монтаж основных элементов резонатора в держатель 30, вакуумная термообработка 31, нанесение электродов 32, герметизация 33, вакуумирование 34, окончательное измерение параметров готового образ a резонатора 35.

Предмет изобретения

Способ изготовления кварцевых резонаторов, основанный на механической обработке, химической очистке H lIQBolllie Ilh Tcfvl травления кварцевых кристаллов, отличаюи1ийся тем, что, с целью повышения процента выхода годных изделий и оптимизации технологического процесса, после химической очистки проводят дискретную сортировку партий, каждую партию подвергают параллельной обработке в автономных режимах мягкого травления, а нанесение электродов проводят после окончательной сборки пьезоэлемента перед герметизацией.

462272

Редактор Н. Коляда

Заказ 3065 Изд, No 1248 Тираж 902 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и oTHpbITHK

Москва, ьК-35, Раушская наб., д. 4/5

Оол, тип. Костромского управления издательств, полиграфии и книжнойторговли

1 !

Составитель Н. Блинкова

Техред А. Камышннкова Корректор T. Гревцова

Способ изготовления кварцевых резонаторов

Кварцедержатель // 451168

Способ изготовления пъезоэлектрических резонаторов // 438093

Способ исследования зондовых характеристикпьезоэлемента // 425310

Устройство для подачи пластинчатых заготовок // 408452

Патент 402135 // 402135

Способ изготовления кристаллических элементов пьезоэлектрических резонаторов 1 2 ность процесса; повышенный расход кристаллического сырья; недостаточная точность вследствие быстрого износа инструмента ультразвукового станка. при изготовлении кристаллических элементов пьезоэлектрических резонаторов предложенным способом указанные недостатки устраняются. 10 на фиг. 1, а, б, в, показаны кристаллические элементы u-образной, н- образной и зигзагообразной форм; на фиг. 2 — заготовка с прорезанными пазами. предложенный способ заключается в том, 15 что от исходного монокристалла отрезают не отдельные бруски, а заготовки, имеющие толщину s, равную толщине кристаллического элемента, и ширину i, равную его длине (фиг. 2). длина заготовки должна быть равна сумме ширин нескольких пьезоэлементов и припусков, соответствующих необходимому количеству пропилов алмазными отрезными кругами с внутренней режущей кромкой. каждая заготовка / наклеивается вместе со 25 стеклянной подложкой 2 на держатель 3 отрезного станка с отрезными кругами, имеющими внутреннюю режущую кромку. после отрезки от заготовки пробной пла- 30 стиики для корректировки угла среза суппорт 20 // 372646

Фонд в18пе?тв1 // 367519

Патент 364074 // 364074

Способ определения размеров и формы активных участков колеблющегося пьезоэлектрического элемента резонатора // 356753

Способ изготовления кварцевых кристаллических элементов ат- среза // 2117382

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для изготовления тонких кристаллических элементов (КЭ) высокочастотных пьезоэлектрических приборов, например, кварцевых резонаторов и монолитных фильтров

Способ изготовления кристаллических элементов // 2150172

Изобретение относится к пьезотехнике и может быть использовано на предварительных этапах обработки кварцевых пластин при изготовлении высокочастотных кварцевых резонаторов и монолитных фильтров

Способ изготовления пьезоэлектрических резонаторов и фильтров // 2154894

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в производстве монолитных пьезоэлектрических фильтров и резонаторов

Способ изготовления кристаллических элементов с линзообразными профилями и устройство для его осуществления // 2169985

Изобретение относится к пьезотехнике и может быть использовано для изготовления кристаллических элементов с выпуклым профилем, близким к линзообразному, для резонаторов и монолитных фильтров

Способ изготовления кварцевых резонаторов бт-среза // 2169986

Изобретение относится к пьезоэлектронике и может быть использовано для изготовления высокочастотных резонаторов и монолитных фильтров

Способ изготовления высокочастотного кварцевого резонатора с улучшенной линейностью // 2174736

Изобретение относится к области пьезотехники и может быть использовано при изготовлении высокочастотных кварцевых резонаторов и монолитных кварцевых фильтров

Способ изготовления микрорезонаторов крутильных колебаний // 2193274

Изобретение относится к электротехнике, к технологии изготовления пьезоэлектрических резонаторов и может быть использовано при изготовлении микрорезонаторов крутильных колебаний, применяющихся в различных радиоэлектронных устройствах и бытовой электронике

Способ изготовления фильтровых кварцевых резонаторов с улучшенной моночастотностью // 2197058

Изобретение относится к пьезотехнике и может быть использовано для изготовления высокочастотных кварцевых резонаторов

Способ изготовления кристаллических элементов и устройство для его осуществления // 2296417

Изобретение относится к области электротехники, в частности к пьезотехнике, и может быть использовано для изготовления кристаллических элементов (КЭ) высокочастотных резонаторов, включая и прецизионные

Способ изготовления кварцевых кристаллических элементов для пьезоустройств с пьезовибраторами срезов yx1/+45° и yx1/-45° // 2397605

Изобретение относится к области радиотехники, в частности к пьезотехнике, и может быть использовано при разработке кварцевых резонаторов, используемых в высокостабильных кварцевых генераторах, применяемых в связной аппаратуре и навигационной аппаратуре