Чувствительный элемент тензодатчика
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ рп 459665
Сове Сооетскнк
Сациалистичесннк
Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 25.09.72 (21) 1830787/25-28 с присоединением заявки № (32) Приоритет
Опубликовано 05.02.75. Бюллетень № 5
Дата опубликования описания 08.07.75 (51) М. Кл. G 01Ь 7/18
Гоеударетвенный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 531.781.2:539.3 (088.8) (72) Авторы изобретения М. И. Алиев, 3. А. Джафаров, А. Э. Агасиев и А. А. Абдурахманова (71) Заявитель
Ордена Трудового Красного Знамени институт физики АН Азербайджанской ССР (54) ЧУВСТВИТЕЛЬНЫИ ЭЛЕМЕНТ ТЕНЗОДАТЧИКА
Предмет изобретения
Изобретение относится к области полупроводниковой тензометрии и может быть использовано для измерения деформаций и механических напряжений деталей и конструкций, Известен чувствительный элемент тензодатчика, содержащий пластину из полупроводникового материала, например нитевидных кристаллов антимонида галлия, и выводы, закрепленные на противоположных гранях пластины, перпендикулярных ее продольной оси.
Однако такие чувствительные элементы обладают малой точностью измерения при повышенной температуре.
Цель изобретения — повышение точности измерений полупроводниковым чувствительным элементом при повышенных температурах.
Это достигается тем, что пластина выполнена из эвтектического сплава GaSb — FeGaiä, в котором металлическая фаза FeGa>ä находится в виде ориентированных игл, оси которых перпендикулярны продольной оси пластины и параллельны плоскости основания чувствительного элемента.
Предлагаемый чувствительный элемент из эвтектического сплава выполняется следующим образом.
Исходный слиток кристаллизуется из расплава, содержащего 82,1% GaSb и 7,9%
FeGa< з. Требуемая ориентация игл металлической фазы FeGa ä достигается путем на5 правленной вертикальной кристаллизации эвтектики. Затем из.слитка вырезаются пластины с требуемой ориентацией игл FeGa ä.
Коэффициент тензочувствительности таких чувствительных элементов достигает 30 — 40, 10 а температурные коэффициенты сопротивления и тензочувствительности составляют соответственно 0,16%/град и 0,2%/град.
Чувствительный элемент тензодатчика, содержащий пластину из полупроводникового материала и выводы, закрепленные на противоположных гранях пластины, перпендикуляр20 ных ее продольной оси, отл и ч а ю щ ийс я тем, что, с целью повышения точности измерений при высоких температурах, пластина выполнена из эвтектического сплава GaSb—
FeGa ä, в котором металлическая фаза FeGa,3
25 находится в виде ориентированных игл, оси которых перпендикулярны продольной оси пластины и параллельны плоскости основания чувствительного элемента.
