Микроскоп совмещения

Авторы патента:

G02B27/40 - оптические фокусирующие вспомогательные устройства (системы расщепления или объединения лучей G02B 27/10)

G02B21/18 - с более чем одним путем светового луча, например для сравнения двух образцов

G02B21 - Микроскопы (окуляры G02B 25/00; поляризующие оптические системы G02B 27/28; измерительные микроскопы G01B 9/04; микротомы G01N 1/06; исследование или анализ поверхностных структур в атомном диапазоне с использованием метода сканирующего зонда, например метод с использованием сканирующего туннельного микроскопа или оптического микроскопа, сканирующего в ближней зоне G01N 13/10; конструктивные детали устройств сканирующих зондов вообще G12B 21/00)

Д Всесоюзная !

3 автеитио-тохни еесааааЮ отека r46+

ОП ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

<и> 440637

Союз Советских

Сощиалистимеских

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 31.07.72 (21) 1815646/18-10 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 25,08.74. Бюллетень № 31

Дата опубликования описания 14.02.75 (51) М. Кл. С 02b 21/00

Гасударственный каметет

Савата Министрав СССР ,аа делам изабретаний и аткрытий (53) УДК 535.82(088.8) (72) Авторы изобретения

В. С. Алтухов и Ю. О. Карлин (71) Заявитель (54) МИКРОСКОП СОВМЕЩЕНИЯ

Изобретение относится к микроскопии и предназначено для совмещения (по реперным знакам) фотошаблона с пластинкой кремния при изготовлении микросхем в микроэлектронной промышлениости.

Известные микроскопы, содержащие объектив и окуляр, не обеспечивают необходимой точности и эксплуатационных удобств. Так как при совмещении наблюдатель должен одновременно видеть плоскости фотошаблона и пластины, то величина зазора между ними не должна превышать глубины резкости микроскопа, что ограничивает выбор рабочих увеличений.

Предлагаемый микроскоп отличается от известных тем, что за объективом установлен делитель светового пучка, выполненный в виде двух плоскопараллельных светоделительных пластин, расположенных под углом к оптической оси, и установленной с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном к оптической оси, призмы.

Это позволило одновременно, наблюдать объекты, расположенные в плоскостях, разнесенных на некоторое расстояние вдоль оптической оси.

На чертеже представлена принципиальная схема предлагаемого микроскопа совмещения.

Микроскоп содержит объектив 1, окуляр 2 и делитель светового пучка, выполненный в виде двух плоскопараллельпых полупрозрачных светоделительных пластин 3 и 4, расположенных под углом 45 к оптической оси, и прямоугольной призмы 5. В предметной плоскости 6 находится кремниевая пластинка 7, а в плоскости 8 вЂ” фотошаблон 9. Расстояние между плоскостями 6 и 8 превышает глубину резкости микроскопа.

Микроскоп обеспечивает одновременное наблюдение плоскостей 6 и 8 за счет вносимой делителем разности хода лучей в разделенные ветви.

Смещением прямоугольной призмы в направлениях, перпендикулярных к оптической оси, можно регулировать величину зазора

15 между фотошаблоном и кремниевой пластинкой.

Предмет изобретения

2о Микроскоп совмещения, содержащий объектив и окуляр, отличающийся тем, что, с целью одновременного наблюдения объектов, расположенных в двух плоскостях, разнесенных на некоторое расстояние вдоль оптиче25 ской оси, за объективом установлен делитель светового пучка, выполненный в виде двух плоскопараллельных светоделптельных пластин, расположенных под углом к оптической оси, и установленной с возможностью переме30 щения в направлении, перпендикулярном к оптической оси, призмы.

440637

Составитель М. Лебедев

Техред А. Камышникова Корректоры: Л, Денисова и 3. Тарасова

Редактор Т, Иванова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 191/5 Изд. ¹ 241 Тираж 537 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5