Устройство для прецизионного автоматического позиционирования объекта

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕ Н ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ пп 432468

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 06.07.71 (21) 1678475/18-24 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 15.06.74. Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 12.11.74 (51) М. Кл. 6 05d 3/00

Гасударственный комнте

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.555.6 (088.8) (72) Авторы изобретения

Г. М. Кузьмин, В. В. Екимов и В. Б. Фрейман (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРЕЦИЗИОННОГО АВТОМАТИЧЕСКОГО

ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ ОБЪЕКТА

Изобретение относится к устройствам для прецизионного автоматического позиционирования объектов, используемых в установках совмещения при производстве изделий микроэлектроники, в делительных машинах, металлорежущих станках с программным управлением и т. п.

Известно устройство для прецизионного автоматического позиционирования объектов, содержащее двигатель, на оси которого закреплен ротор датчика перемещений позиционного типа, кинематически связанный с кареткой, на которой расположен объект позиционирования, и электрически — с блоком управления.

Точность позиционирования в таком устройстве ограничивается возможностями механической передачи.

С целью повышения точности в устройстве дополнительно установлены обтюрационный оптический датчик с растровой штриховой мерой и со штриховым индексом, каретка, датчик перемещений позиционного типа и двигатель, причем растровая штриховая мера и штриховой индекс обтюрационного датчика размещены соответственно на каретке первого датчика перемещений и дополнительной каретке, кинематически связанной с валом дополнительного двигателя, на валу которого установлен ротор второго датчика перемещений позиционного типа, который электрически связан с блоком управления.

На фиг. 1 схематично изображено предлагаемое устройство; на фиг. 2 — штриховой ин5 декс, представляющий увеличенное изображение штриховой меры.

Устройство для прецизионного автоматического позиционирования объектов включает в себя каретку главного привода 1, гайку 2, винт

10 3, растровую штриховую меру 4, датчик перемещений позиционного типа с кодовым диском

5, двигатель главного привода 6, микрообъектив 7, штриховой индекс 8, дополнительный двигатель привода индекса 9, второй датчик

15 перемещений позиционного типа 10, фотоприемник 11, блок управления 12, осветитель 13, кодовые диски 14, 18, дополнительную каретку 15, винт привода индекса 16 и коллектив 17.

20 Блок главного привода содержит двигатель

6, винт 3 и гайку 2.

Команда на вывод системы на заданную координату подается блоком управления 12.

Заданная координата равна

25 где б — шаг штриховой меры; k и п — целые

ЗО числа.

432468

Главный привод выводит каретку в интервал Иб: (k+1)6) по сигналу от датчика 5.

Сигнал останова привода подается от оптического датчика в момент совпадения изображения штрихов штриховой меры 4 и индекса 8, Для точного останова в точке с координатой

В

И+ — необходимо индекс сместить относии

В тельно начала отсчета на величину и (знак « — » объясняется поворотом изображения в оптической системе) .

В

Смещение индекса 8 на величину — v

П осуществляется по команде от блока управления до начала движения главного привода.

Предмет изобретения

Устройство для прецизионного автоматического позиционирования объекта, содержащее двигатель, на оси которого закреплен ротор датчика перемещений позиционного типа, кинематически связанный с кареткой, на которой расположен объект позиционирования, и электрически — с блоком управления, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности, в нем дополнительно установлены обтюрационный отпический датчик с растровой штриховой мерой и со штриховым индексом, каретка, датчик перемещений позиционного типа и двигатель, причем растровая штриховая мера и штриховой индекс обтюрационного датчика размещены соответственно на каретке первого датчика перемещений и дополнительной каретке, кинематически связанной с валом дополнительного двигателя, на валу которого установлен ротор второго датчика перемещений позиционного типа, который электрически связан с блоком управле20 ния.