Состав для полирования
ОПЙСАНИЕ
ИЗОБРЕ ГГМКЯ (ii) 430996
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 21.06.71 (21) 1673761/25-8 с присоединением заявки № (32) Приоритет
Опубликовано 05.06.74. Бюллетень № 21
Дата опубликования описания 10.11.74 (5)) М. Кл. В 24d 3/04
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений
Н OTKPblTHH (53) УДК 621.922.079 (008.8) (72) Авторы изобретения
В. И. Карбаиь, Г. Ф. Скрипко и Н. С. Борисенко
Институт сверхтвердых материалов (71) Заявитель (54) СОСТАВ ДЛЯ ПОЛИРОВАНИЯ
9,0 — 83,0
3,4 — 73,0
1,7 — 72,0
0,5 — 9,0
Изобретение относится к производству абразивного инструмента.
Известен состав, используемый для полирования и включающий алмазный порошок, канифоль, воск, шеллак.
В случае обработки полупроводниковых материалов такой, состав не обеспечивает высокую п роизводительность и чистоту поли рования.
Предлагаемый состав отличается от известного тем, что в него введен древесный пек, при этом ингредиенты, входящие в состав, взяты в следующем соотношении, вес. .
Абразивный порошок 9,0 — 83,0
Канифоль 3,4 — 73,0
Древесный пек 1,7 — 72,0
Воск 0,5 — 9,0
Предлагаемый состав повышает произ водительность и чистоту полирования.
Состав приготавливают следующим образом, Смешивают в необходимой пропорции древесный пек канифоль и воск, полученную смесь расплавляют и тщательно перемешивают. Охлажденную смесь перетирают в .пороII."ок до размера частиц не более 100 — 200 мк.
Полученный таким образом порошок сме5 шивают с абразивными зернами. Затем смесь подогревают до температуры плавления неабра"-явных составляющих,с последующим охла кдспием и измельчепием.
10 Предмет изобретения
Состав для полирования преимущественно полупроводниковых материалов, включающий алмазный порошок, канифоль, и воск, 15 отл и ч аю щи и ся тем, что, с целью повышения производительности и чистоты полирования, в состав введен, древесный пек и компоненты взяты в следующем соотношении, вес. %:
20 Аб разивный порошок
Канифоль
Древесный пек
Воск