Устройство для контроля электрических контактов проводника в процессе сварки егос кристаллом

ли. (н) 421152

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советские

Социалистических

Республик (б1) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 03.10.72 (21) 1833326 26-9 (51) М. Кл. Н 05k 3 00 с присоединением заявки (32) Приоритет

Опубликовано 25.111.1974. Бюллетень ¹ 11

Дата опубликования описания 30.07.1974

Государственный комитет

Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытий (53) УДК 621.396.6.002.72 (088.8) (72) Авторы изобретения А. Г. Шеревеня, В. Д. Фролов, В. А. Дуболазов и A. С. Пешков (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ЗЛЕКТРИЧЕСКИХ

КОНТАКТОВ ПРОВОДНИКА В ПРОЦЕСС= СВАРКИ ЕГО

С КРИСТАЛЛОМ

Предмет изобретения

Изобретение овносится к оборудованию для производства изделий микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении интепр альных схем.

Известно устройство для контроля электрических контактов проводника в процессе сварки его с кристаллом, содержащее сварочный узел, блок контроля и блок сигнализации.

Однако известное устройство позволяет контролировать электрические контакты проводника с кристаллом только в готовой микросхеме после окончания процесса сва рки.

Цель изобретения — автоматизация процесса контроля.

Для этого устройство снабжено генератором тока, соеди нен ным со входом сварочного узла, выход кото|рого соединен со входом .вновь введенного блока сравнения, выход которого соединен с блоком сипнализации.

На чертеже изображена блок — схема предлагаемого устройства.

Устройство содержит генератор тока 1, формирующий импульс тока, величина и полярность кото рого определяются условиями безопасности кристалла микросхемы;:сварочный узел 2, присоединяющий проводник к кристаллу; блок сравнения З,,в котором сравниваются сигналы, определяемые наличием или отсутствием электрических контактов проводника с кристаллом; блок сигнализации 4.

Устройство работает следующим образом.

Импульс тока, поступающий от генератора тока в момент присоединения проводника к кристаллу, проходит через инструмент 5, проводник G, контактную площадку 7 кристалла, кристалл 8, основание 9 и создает сигнал, величина котс ро"o определяется сопротивлением в цепи инструмент 5 — основание 9.

При осуществлении основного электриче10 ского контакта, получаемого в процессе сварки, контрольный сигнал определяется сопротивлением активных сбластей кристалла Я,.

При возникновении дополнительного электрического контакта проводника с кристаллом, например, через незащищенный край кристалла, сопротивление Л, шунтируется .сопротивлением Л и величина контрольного сигнала изменяется. Зто изменение фиксируется блоком сравнения, выдающим в блок сигнализа20 ции соответствующие сигналы, величина которых зависит от результата сравнения.

25 Устройс1во для контроля электрических контактсв проводника в процессе сварки его с кристаллом, содержащее сварочный узел, блок .контроля и блэк сигнализации, отлич а ю щ е е с я тем, что, с целью автоматизации

30 процесса контроля, оно снабжено генератором

421152

Составитель Л. Липовецкая

Техред Т. Миронова

Редактор О. Куницина

Корректор Л. Царькова

Заказ 1818, 8 Изд. ¹ 670 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 тока, соединеиным со входом сварочного узла, выход которого соединен со входом вновь введенного Олока сравнения, ВыхОд которого соединен с блоком сигнализации.