Емкостной датчик

(щ 419992

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 27.03.72 (21) 1762867/26-9 с присоединением заявки (32) Приоритет

Опубликовано 15.03.74. Бюллетень ¹ 10

Дата опубликования описания 20.08.74 (5I) Ч. Кл. Н Olg 13/00

G 01r 27/26

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.319.43 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. С. Вишневский и Н. Я. Ковальчук (71) Заявитель (5-1) EM КОСТНОЙ ДАТЧ И К

Устройство относится к области техники изготовления электрических конденсаторов постоянной емкости и может быть использовано для измерения емкости, угла диэлектрических потерь и токов утечки пленочных конденсаторов в процессе их изготовления, а также аналогичных характеристик различных диэлектрических пленок.

Известны емкостные датчики для измерения емкости пленочных конденсаторов в процессе их изготовления. По величине изменения этой частоты судят о толщине напыляемого диэлектрика, а следовательно, о емкости изготовляемого конденсатора.

Однако емкостные датчики не позволяют измерять в процессе изготовления пленочных конденсаторов такие характеристики, как угол диэлектрических потерь и ток утечки в диэлектрике; кроме того, он дорог и сложен в изготовлении, а срок его службы ограничен.

С целью обеспечения измерения электрических характеристик конденсатора непосредственно в процессе его напыления в предлагаемом датчике, рабочая поверхность металлических пластин расположена перпецдпку.чярпо плоскости подложки.

На фиг. 1 показан предлагаемый датчик и разрез А — А па фиг. 1; на фиг. 2 — схема включения емкостного датчика при измерении электрических характеристик изготовляемых конденсаторов.

Емкостной да счпк состоит из двух металлических пластин 1 и 2, расположенного между

5 пимп измерительного зазора и диэлектрической подложки 4. Измерительный зазор заполнен осажденным диэлектриком 5.

Толщина измерительных пластин 1 и 2, ширина и длина зазора 3 выбираются в зависи10 мости от диэлектрической проницаемости осаждаемого диэлектрика.

В процессе работы датчик 6 размещается рядом с нижними обкладками изготовляемых конденсаторов 7, на которые наносится слой

15 диэлектрика. Зазор между пластинами 1 и 2 емкостного датчш а 6 заполняется осаждаемым диэлектриком 5, что приводит к изменению его емкости и угла диэлектрических потерь. 3ТО изменение измеряется прибором 8.

20 Характеристи|«п изготовляемого конденсатора определяются по экспериментально установленным зависимостям от характеристик конденсатора емкостного датчика.

Предмет изобретения

Емкостной датчик, содержащий диэлектрическую подложку и расположенные на пей

30 металлические пластины, отличающийся

419992

А-А

Фиг т к

Фиг,Я

Составитель Н. Ковальчук

Редактор T. Морозова Техред Л. Богданова Корректор Н. Стельмах

Заказ 186217 Изд. 1," 1381 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Госмдарствсппого комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 5К-35, Раушская наб., д 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 тсз1, чтО, с 110 lbIo оосспс 1епп5 113з1ерспи11 электрических характ0ристик изl от11вливас. 1Ого конденсатора непосредственно в прсщ ссе

01 0 Il I III I.tl 111151, j) аООЧа51 IIOB0PXHOC1о 551ЕГа ll, IH1сских пластин расположена перпепдикуляр: о плоскости подложки.