Патент ссср 416582

- .---. О П И C А Н И Е 4I65

Социалистических

Республик

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

i ! Заявлено 27.1.1972 (№ 1741016/18-10) М. Кл. G 0Il 9/10 с присоединением заявки № (1

Государственныи конитет i 1 риоритет

Совета Министров СССР во делаи нвокретеии» Опубликовано 23 11 1974, Бюллетень ¹ 7 и открытий

УДК 531.787.91 (088.8) Дата опубликования описания 9Л 1(.(974

1 . iвт()рь! пзобрстc! I!!? I

Г. H. Сунцов и Л. В. Новиков

3 аявитель

ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ

Изобретение относится к контроль но-измерительной технике, в .астпости к датчикам давления с индуктивны;I;I преобразователями.

Известны датчики давления, содержащие корпус, B котором закреплены две мембраны, образующие замкнутую полость, сообщающуюся с измеряемой средой, и являющиеся одновременно якорями III!;Iy!a!!r ного преобразователя перемещения. Однако мембрана известного датчика изгото(влепя из металла и, являясь определяющим элементом для характеристик датчика, е может обеспечить его высокого качества. Кроме того, под действием тепла во время работы датчика меняется модуль Юнга материала мембраны, а следовательно, и ее натяжение, что приводит к изменению чувст(вительности датчика.

Целью изобретения является повышение точности измерения в условиях переменных температур измеряемой среды.

Эта цель достигается тем, что мембраны выполнены из кварца, и и< поверхности, обращенные к катушкам индуктивности, покрыты слоем ферромагнитного материала, например, пермаллоя, а противоположные, контактирующие с измеряемой средой,— слоем мате(риала с высоким коэффициентом внутпеннего трения, например. хрома.

На чертеже изображен предлагаемый датчик.

Корпус датчика состоит из двух секциймагнитопроводов 1. В каждую секцию (вложе1я катушка 2 пндуктивности, намотанная на втулку 3 из диэлектрика. Между катушками

5 рязме цены две мембраны 4 в виде кварцевых дисков, на поверхностях которых, обращенных к катунскам индуктивпости, нанесен слой 5 ферромагнетикя, например, пермаллоя, а ня про-ивоположпых поверхностях нанесен слой

10 6 хрома. Магнитопроводы пред варителы(о с усилием прижаты друг к другу и склеены по шву 7. Датчик имеет штуцер 8 для подвода давления измеряемой среды и штуцсры 9 и

10 для подвода эталонных уровней давления.

15 Изме„яемос дявлcIIB подводится к штуцеру 8 и, воздействуя на мембраны 4, прогибаст их. Изменение величины и катушек 2 фиксируется электронными приборами. Через штуцеры 9 и 10 подводятся эта20 лон ыг уровни дявлс:I;!я с .1остояпной температурой.

При измене. (ии температуры измеряемой среды коэффициент магнитной проницаемости фсрео,(ягнптпа o c.".oë 5 не мс1(ветс((, т(1, .; 1

25 3T0T c o!I защищен KBBp!1cBoII IIcAI(1/BI!IBÉ 4.

Вместе с тем упругие свойства мембран 4 Ie изменяются, так как они изготовлены из кварца, обладающего малым коэффициентом линейного расширения и сраBHитель Io мя. Io

30 меняющимся от температуры модулем Юнга.

1олщина кварцевой пластины велика по

Оравнению с толщиной ферромагнитного слоя, и именно свойствами кварца, а не ферромаг(стн!кя о3(рсдсляются механические свойства .,5с«)бр()н 1. 1 як 3(BI(3н3дуктнl3нh)е кят« !нк3!

:.)нтяюг нсремс(щ !«i;i в несколько леся iв кои I,ï,loãåðö, то нз-зя скипэффсктя ll работ(35рин I«I Bio à « 5(ст33е .! (3, Il>êo повср «ности ыс с. I! >Ii ()ср!)О«3агн(т33КГ(, а следовательно, тол:3()н(;! фереро«3агнетика может быть достаточно маля, Слой хрома выполняет роль демпфера колебя(щй мембраны 4 i, снижая ее добротность, :((3ст воз«го)кность использовать датчик при более высокочастотных процессах. Дисснпация колсоательной энергии при изгибе происходит в основном в наружных слоях мембраны 4, я слой крома настолько мал, что нс влияет на

;гсб)!.л3::гост! ес механических свойств. «ром нс является феррамагнетиком и поэ3ому .(с вносит искажений в картину магнргтного поля датчика. Вместе с тем хром обладает больши-..: коэффициентом внутреннего трения.

Предмет изобретения

Датчик давления, содержащий корпус, в ко-! ором:;III(påïëåèû две мемораны, оор;, 3:3О3н33(: замкнуту(о полость, сообщающуюся с измерясмой средой, и катушки индуктивностн, О т л !10 l l IO III И и С 5I ГЕМ, Ч ГО, С ЦЕЛШО 33ОВЫН3;II ;! точности измерения в условиях переме3(пы температур измеряемой среды, в нем мембраны выполнены из кварца, и их говерхностн5, обращенные к катушкам, покрыты слое;i фер15 ромагнитного материала, например пермалл О I l, я п р 0 т н в О пол О ж н hi е, l(0 н т а к т и 1) c lo (ц 5 I () изме!ряемой средой, — слоем материала с высоким коэффициентом внутреннего грения, ия— пример, «рома.

Сос-. авптел! Л. пикито и(ииа

Р(-д;5ктop 3. Твердоклебова Те«рог(Г. Васи:п,ева Еоррект< р Т. Добровольскаи

Заказ !552/!4 Изд. «з 518 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Миппсгров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раугпскап пао., д. 4/5 ти()огра4п)ь пр. c. у;, 2