Патент ссср 414556

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Соввтских

Социалиотииеских

Ре".публик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 31.V.1971 (¹ 166!898. 26-25) с присоединением заявки X

Приоритет

Опубликовано 05.11,1974. Бюллетень ¹ 5

Дата опубликования описания 20Л 1. 1974

М. Кл. G Olt 7/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР но делам изобретений и открытий

УДК, 539.1.075 (088.8) Авторы изобретения

В. М. Артемов, Д. В. Иремашвили и А. И. Шимко

Заявитель

КРИСТАЛЛОДЕРЖАТЕЛЬ

Изобретение относится к устройствам, используемым при исследовании поверхностных структур, например в низковольтной электрон огр аф ии.

Известны кристаллодержатели, позволяющие совмещать исследуемую поверхность кристалла с траекторией пучка путем линейного и углового перемещения кристалла в пространстве.

Недостаток известных конструкций состоит г. том, что они не обеспечивают контроля положения пучка в пространстве и его диаметра, а совмещение пучка и поверхности кристалла осуществляется перемещением в пространстве кристалла до появления дифракционной картины на люминесцентном экране.

В результате значительно увеличивается время настройки электронографа.

Целью изобретения является обеспечение визуального контроля положения и геометрии поперечного сечения пучка медленных электронов, быстрого совмещения поверхности исследуемого кристалла с зондирующим пучком, а также контроля степени компенсации магнитного поля Земли.

Поставленная цель достигается тем, что к кристаллодержателю прикреплена прозрачная (например, стеклянная) пластина с люминофором, которая для устранения затемпения дифракцпонной картины расположена

"ак, что поверхность пластины нормальна поверхности образца. Люминесцентное покрытие имеет низкую энергию возбуждения свечения и малое сопротивление растеканию заряда (например Zno:Zn). К пластине приложено то же напряжение, чго и к кристаллу, поэтому эквипотенциальность пространства внутри дифракционной камеры не нарушает1р ся. Это позво.диет наблюдать положение электронного пучка, геометрию поперечного сечения пучка, контролировать степень комгенсацип магнитного поля Земли и быстро совмещать исследуемую поверхность с траек15 орией п чка.

На чертеже показан предложенный кристаллодержатель: а — положение при настройке; б — рабочее положение.

Пушка медленных электронов 1 формирует электронный пучок и направляет его (см. положение а) на пластину 2 с люминофором, которая закреплена на кристаллодержателе

3 таким образом, что поверхность пластины поверхность исследуемого кристалла составляют угол 90 . В рабочем положении кристаллодержателя электронный пучок попадает па исследуемый кристалл, а пластина с люминофором це препятствует наблюдению дифракционной картины.

414556

Предмет изобретения

IIIL

111Г

1П

Составитель А. Балашов

Техред Т. Ускова

Корректор Т. Гревцова

Редактор T. Орловская

Заказ 1366/16 Изд, № 468 Тираж 678 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

1. Кристаллодержатель для исследования поверхностных структур методом электронографии, содержащий кристалл, устройство для крепления кристалла и механизм линейного и вращательного перемещения, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью обеспечения контроля фокусировки пучка электронов и упрощения процесса совмещения с ним исследуемой поверхности кристалла, он снабжен прозрачной, например стеклянной, пластиной с люминофором, например окисью цинка, ак ивированной цинком, предназначенной для определения положения и геометрии поперечного сечения пучка электронов.

2. Кристаллодержатель по п. 1, о т л и ч а ющи и ся тем, что, с целью устранения затемнения дифракционной картины, пластина с люминофором расположена так, что поверх1о ность пластины и поверхность образца составляют угол порядка 90 .