Патент ссср 413371
О С НИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
4I337I
Союз Советских
Социалистиыеских
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 21.1V.1972 (№ 1776309/25-28) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 30.1.1974. Бюллетень ¹ 4 .1,ата опубликования описания 27Л .1974
М. Кл. G Olb 11/02
Государственный комнтет
Совета Инннстров СССР
flQ делам изооретеннй и открытнй
УДК 531.71(088.8) Авторы изобретения
А. М. Каган и М. Г. Богуславский
Заявитель
П ЕРФЛ ЕКТОМЕТР оптической оси перфлектометра. Заслонка 4 установлена за проекционным объективом 3 таким образом, что край ее перпендикулярен к направлению перемещения зеркально-отражающей поверхности объекта 7.
Свет от осветителя 1 равномерно освещает марку 2. Проекционный объектив 3 строит на оптической оси в плоскости предметов визирного объектива 5 промежуточное уменьшеп10 ное изображение марки 2. Часть лучей (если заслонка закрывает, например, половину зрачка, то половина пучка лучей) задерживается заслонкой 4, и марку 2 в плоскости изображений визирного объектива 5 строит
15 только та часть лучей, которая миновала заслонку. При наличии расфокусировки при последовательном экранировании с помощью заслонки 4 противоположных частей объектива 3 (см. фиг. 2: б, в) в плоскости регистри20 рующего устройства зарегистрировано взаимное смещение изображений марки 2 относительно регистрирующего устройства 6 в разные стороны. Прп зтом направление смещения зависит от знака расфокусировки.
Перфлектометр, содержащий расположенные последовательно по оптической оси осве30 титель, марку, проекционный и визирный
Изобретение относится к облас1и измерительной техники и может быть использовано для высокоточных линейных измерений зеркально-отражающих поверхностей.
Известен перфлектометр, содержащий расположенные последовательно по оптической оси осветитель, марку, проекционный и визирный объективы и устройство для регистрации положения изображения марки.
Предлагаемый перфлектометр отличается от известного тем, что в нем один из объективов, например проекционный, снабжен заслонкой, установленной с возможность,о последовательного экранирования противоположных частей зрачка объектива, край которой перпендикулярен к направлению перемещения зеркальноотражающей поверхности объекта.
Это позволяет повысить точность измерения.
На фиг. 1 представлена принципиальная схема предлагаемого перфлектометра; на фиг. 2 — схема работы с перфлектометром.
Предлагаемый перфлектометр состоит из расположенных последовательно по оптической оси осветителя 1, марки 2, проекционного объектива 3, заслонки 4, визирного объектива 5 и регистрирующего устройства 6.
Объект 7 располагается между заслонкой 4 и визирным объективом 5, причем отражающая поверхность объекта 7 ориентирована вдоль
Предмет изобретения
413371 фиг.1
Составитель В. Горшков
Текред Т. Курилко
Редактор О. Юркова
Корректор T. Гревцова
Заказ 1173/8 Изд, № 1229 Тираж 760 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, К-35, Раушскаи наб., д. 4/5
Типографии, пр. Сапунова, 2 объективы и устройство для регистрации положения изображения марки, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повышения точности измерения, в нем один из объективов, например проекционный, снабжен заслонкой, установленной с возможностью последовательного экранирования противополохкных частей зрачка объектива, край которой перпендикулярен к направлению перемещения зеркально-отражающей поверхности объекта.
