Патент ссср 413118
оеоп. яатент,,;-, биоля-T
Оп исАЙ
ИЗОБРЕТЕН
413II8
Ьиоз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛ
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 08.11.1972 (№ 1744793/29-3 с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет
Опубликовано 30.1.1974. Бюллетень
Дата опубликования описания 1 VII
M. Кл. С 03с 3/10
Государственный комитет
Совета Министров СССР оо делам изобретений н открытий
Ь ДК 666.112.3(088.8) Авторы изобретения К. А. Костанян, р. С. Сарингюлян, В. И. Херунцян, С. Г. Дорьян и С. Н. Маркарян
Заявитель
ВаО
СаО
MgO
ZnO
5 Ка,О
КеО
SnO
Аl (мет.) 10;0
2;0
2,0
2,0
8;5
5,0
0,5
0,1 свойствами.
15
495
2,63
20 более 0,06
119,5
86
Изобретение относится к составам стекоЛ, которые могут быть использованы при получении стеклянных подложек для фотошаблонов, применяемых в производстве полупроводниковых н интегральных схем методом фотолитографии, Известно стекло, включающее ЯОз, А1еОз, СаО, ВаО, ZnO, SnO, Na O и К20.
Целью изобретения является повышение спектральных свойств стекла в области 300—
450 нм.
Достигается это тем, что предлагаемое стекло содержит указанные компоненты в следующих соотношениях, вес.%:
SiOz 67 — 76
А1зОз 2 — 8
СаО 1,5 — 12
ВаО 2 — 10
ZnO 0,5 — 5
SnO 0,1 — 3
Na Π7 — 15
КеО 2 — 12 и, кроме того, MgO 1 — 5
Аl (мет.) 0,1 — 0,5
Пример, Стекло имеет следующий состав с соотношением компонентов, вес.%:
SiO2 67,9
А1еОз 2,0
Оно обладает следующими
Коэффициент линейного теплового расширения а 10" l/
/град в интервале
20 — 300 С
Температура отжига, С
Температура начала размягчения, С
Плотность, г/см
Химическая стойкость к воде, %- не
Термостойкость С
Светопропускание (% ) при длине волны ji (нм):
450
1 — 5
0,1 — 0,5
Предмет изобретения
Стекло, включающее SiOg, А40з, СаО, ВаО, ZnO, SnO, Na2O, К О, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения спектральных 5 свойств стекла в области 300 †4 нм, оно содержит указанные компоненты в следующих соотношениях, вес. %;
%02 67 — 76
А120з 2 — 8
СаО
ВаО
ZnO
SnO
Na2O
К О и, кроме того, IhgO
Аl (мет.) 1,5 — 12
2 — 10
0,5 — 5
0,1 — 3
7 — 15
2 — 12
Составитель С. Белобокова
Редактор H. Спиридонова Техред Т. Миронова Корректор А. Дзесова
Заказ 1254/7 Изд. № 1230 Тираж 506 Подписное
ЦПИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
