Патент ссср 410270

Авторы патента:

G01L9/06 - пьезорезистивных устройств

О те т:.:о-.я;.;::;.ческая

ИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

4® 0270

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

М. Кл. G 011 9/06

Заявлено 11Л .1972 (№ 1783495/18-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 05.1.1974. Бюллетень № 1

Дата опубликования описания 6Х.1974

Гасударственный камитет

Совета Министров СССР аа делам изааретений и аткрытий

УДК 531.787.91(088.8) Авторы изобретения

В. P Варданян, В. Х. Оганесян и А. Г. Манукян

Ереванский политехнический институт им. К. Маркса

Заявитель

ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ

Изобретение относится к полупроводниковой технике, в частности к полупроводниковым датчикам давления.

Известно, что для измерения механических усилий применяются тензодатчики давления из различных полупроводников, как Ge, $1, PbS, AgS и т. д. Количественной мерой оценки действия тензодатчиков является коэффициент тензочувствительности.

В поликристаллических полупроводниках, например в сульфиде свинца (PbS>), механизм тензоэффекта связан с уменьшением потенциального барьера на границе между зернами вещества под действием давления. Он обладает коэффициентом тензочувствительности

К=1000, а в остальных известных поликристаллических полупроводниках и того меньше.

Порог чувствительности тензоэффекта сульфида свинца имеет величину, примерно равную 20 кг/см, и недостаточен для измерения малых давлений.

Предлагаемый датчик давления из полупроводникового дисульфида молибдена (MoS2) имеет ряд преимуществ, основанных на обнаруженном тензочувствительном свойстве днсульфида молибдена.

На фиг. 1 дана зависимость относительного изменения сопротивления MoS2 от давления (порог чувствительности в данных образцах равен около 2 кг/см ); на фиг. 2 вЂ” зависимость относительного изменения сопротивления от относительного изменения размера тензодатчика. Определенный коэффициент тензо10 чувствительности имеет значение близкое к

2000.

Технология получения образцов MoS дисульфида молибдена аналогично получению прессованных образцов из порошкового суль15 фида свинца.

Предмет изобретения

Датчик давления, содержащий чувствительный элемент из полупроводникового материа20 ла на основе сульфпдов, отличающийся тем, что, с целью понижения порога чувствительности и повышения коэффициента тензочувствительности, чувствительный элемент изготовлен из дисульфида молибдена (MoS>).

410270

3R «1О Ро ф Ъ 2

Фиг 1

4,У

19 1Я5 20 2,Ж 2,1 2,15 22 2,25 2,5

Фиг.2

Составитель Г. Невская

Редактор О, Филиппова

Техред 3, Тараненко Корректор Т. Хворова

Заказ 1037/8 Изд. № 362 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 вЂ” «10

8Р

Ь ф вЂ” xyg

<о

Полупроводниковый тензочувствительный переключатель // 398847

Датчик давления // 346615

Датчик давления // 322674

Тензометрический преобразователь // 322673

Датчик давления // 210436

Патент 192465 // 192465

Патент 153138 // 153138

Устройство с применением пьезометров для замера среднего давления из замеряемых ими давлений в различных местах водовода // 129854

Устройство для измерения давлений // 75909

Измерительный преобразователь разности давлений // 2114407

Изобретение относится к измерительному преобразователю разности давлений с разделенным на две части поперек его продольной оси внутренним корпусом, между двумя частями корпуса которого закреплена несущая датчик давления 6 центральная мембрана 7

Полупроводниковый датчик давления // 2134869

Изобретение относится к преобразователям давления в дискретный электрический сигнал и может быть использовано автоматизированных системах управления

Датчик давления // 2137099

Изобретение относится к датчикам давления с защитой хрупкой мембраны от избыточного давления

Устройство для измерения давления // 2139509

Изобретение относится к измерительной технике

Датчик давления (варианты) // 2143673

Устройство искробезопасного питания двухпроводного датчика // 2149490

Изобретение относится к области элетротехники и может быть использовано при проектировании устройств искробезопасного питания двухпроводных датчиков, например датчиков давления

Мультипликативный микроэлектронный датчик давления (варианты) // 2247342

Изобретение относится к измерительной технике, в частности, к технике измерения неэлектрических величин, а именно, к полупроводниковым датчикам давления

Измеритель пульсовой активности // 2402977

Изобретение относится к медицинской технике, а именно к устройствам диагностической кардиологической техники, и представляет собой измеритель пульсовой активности

Датчик давления в трубопроводе // 2054166

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано в датчиках давления, предназначенных для использования в условиях, когда в рабочей среде или снаружи датчика присутствуют воспламеняющиеся смеси

Устройство искробезопасного питания двухпроводного датчика // 2082955

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам искробезопасного питания двухпроводного датчика, например, давления