Устройство для контроля качества поверхностей плоского изделия

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 31.XII.1971 (№ 1732249/25-28) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 10.XII 1973. Бюллетень № 47

Дата опубликования описания 24. IV.1974

М. Кл. 6 Olb 13/22 государственный комитет

Совете Министров СССР пе делам иеооретений и открытий

УДК 531.717.82(088.8) Авторы изобретения

Ю. И. Герман и Д. П. Ловцов

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА

ПОВЕРХНОСТЕЙ ПЛОСКОГО ИЗДЕЛИЯ

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля контактных поверхностей, например, элементов полупроводниковых приборов.

Известное устройство содержит корпус, в котором размещены измерительное сопло, сопрягаемое рабочей поверхностью с контролируемой поверхностью изделия, и пневматический упругий элемент поджима изделия к соплу, натекатель и измеритель давления, сообщенные с корпусом, вакуумный насос и вакуумметр, сообщенные с измерительным соплом.

В устройстве реализуется молекулярный режим течения воздуха во всей зоне измерения и по показаниям вакуумметра оценивается,качество поверхности, контактирующей с измерительным соплом.

Цель изобретения — обеспечить контроль качества и параллельности обеих поверхностей.

Это достигается тем, что устройство снабжено подвижным к первому соплу вторым измерительным соплом, рабочая поверхность которого параллельна рабочей поверхности первого сопла, сообщенным с вакуумным наcoco M.

Устройство может быть снабжено плунжером, размещенным внутри второго измерительного сопла и сообщенным с вакуумным насосом, и пружиной, поджимающей плунжер к изделию.

Это обеспечивает прижатие изделия независимо от работы второго измерительного сопла.

На чертеже представлена конструктивная схема устройства.

В корпусе l размещены измерительные сопла 2 и 3, плунжер 4 и пружина 5, которая упн10 рается во фланец 6, соединенный через резиновую мембрану 7 с корпусом.

Вакуумный насос 8 сообщен каналами с соплами 2 и 3 и вакуумметром 9. К корпусу присоединены натекатель 10 и измеритель 11

15 давления.

Взаимное положение сопл и корпуса фиксируется шпонками 12.

Рабочие поверхности сопл параллельны.

20 Перед измерением изделие 13 помещают в корпус, сопло 2 жестко скрепляют с корпусом, а сопло 3 накрывают фланцем 6 и включают насос 8.

Атмосферный воздух давит на фланец 6, 25 выполняющий вместе с мембраной 7 роль пневматического упругого элемента, и зажимает изделие между рабочими поверхностями сопл.

Плунжер 4 обеспечивает надежный поджнм

30 изделия к соплу 2.

408144

Регулируя натекатель 10, устанавливают заданное давление по измерителю 11.

Для одновременного контроля качества и параллельности обеих поверхностей насос 8 сообщают с обоими соплами.

При контроле качества одной из поверхностей с насосом сообщают сопло, контактирующее с этой поверхностью.

Показания вакуумметра 9 характеризуют в первом случае плоскопараллельность и качество обеих поверхностей, а во втором — качество контролируемой поверхности изделия.

Предмет изобретения

1. Устройство для контроля качества поверхностей плоского изделия, содержащее предназначенный для установки изделия корпус, в котором размещены измерительное сопло, сопрягаемое рабочей поверхностью с контролируемой поверхностью, и пневматический упругий элемент поджима изделия к соплу, натекатель и измеритель давления, сообщенные с корпусом, вакуумный насос н ваку5 умметр, сообщенные с измерительным соплом, отличающееся тем, что, с целью одновременного контроля качества и параллельности обеих поверхностей, оно снабжено подвижным к первому соплу вторым измеритель10 ным соплом, рабочая поверхность которого параллельна рабочей поверхности первого сопла, сообщенным с вакуумным насосом.

2. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ е е с я

lS тем, что, с целью прижатия изделия независимо от работы второго измерительного сопла, оно снабжено плунжером, размещенным внутри второго измерительного сопла и сообщенным с вакуумным насосом, и пружиной, под20 жимающей плунжер к изделию, Редактор T. Illarosa

Составитель В. Гордеев

Техред Л. Богданова Корректор В. Жолудева

Заказ

1001/1 Изд. № 268 Тираж 755 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2