Устройство для контроля качества поверхности

384004

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 18 т !.1970 (№ 1449963/25-28) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 23Х.1973. Бюллетень № 24

Дата опубликования описания 2Х111.1973

М. Кл G 01Ь 13/22

Комитет по делам изобротений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 531.717.82 (088.8) Авторы изобретения

Ю. И. Герман и Д. П. Ловцов

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА

ПОВЕРХНОСТИ

Известно устройство для контроля качества поверхности, содержащее измерительное сопло с рабочей поверхностью, сопрягаемой с поверхностью проверяемого изделия, соединенную с соплом вакуумную камеру, вакуумныи насос и вакуумметр.

Цель изобретения — повышение точности контроля эксплуатационной характеристики контактной поверхности полупроводниковых элементов.

Для этого предлагаемое устройство снабжено съемной вакуумной камерой, в которую помещены измерительное сопло и изделие, регулируемым натекателем, соединяющим эту камеру с атмосферой, измерителем давления в этой камере и элементами поджима изделия к соплу.

На чертеже показано описываемое устройство.

Проверяемое изделие 1 помещают на сопло

2, образуюгцее вместе с корпусом 8 вакуумную камеру, соединенную с вакуумным насосом 4 и вакуумметром 5. Дополнительная съемная камера б соединена с натекателем 7 и измерителем 8 давления. Прижимная пластина 9, воздействующая на изделие, соединена с камерой б сильфоном 10, открытым в атмосферу.

Перед измерением изделие 1, помещенное на сопле 2, закрывают камерой б и включают насос 4. Давление атмосферного воздуха с постоянным усилием воздействует через пластину 9 на изделие 1. Регулируя положение натекателя 7, устанавливают заданное давле5 ние по измерителю 8. Показания вакуумметра 5 характеризуют качество поверхности изделия 1.

Предмет изобретения

1. Устройство для контроля качества поверхности, содержащее измерительное сопло с рабочей поверхностью, сопрягаемой с поверхностью проверяемого изделия, соединенную с

15 соплом вакуумную камеру, вакуумный насос и вакуумметр, соединенные с камерой, отличающееся тем, что, с целью повышения гочности контроля эксплуатационной характеристики контактной поверхности полупроводни20 ковых элементов, оно снабжено съемно, вакуумной камерой, в которую помещены измерительное сопло и изделие, регулируемым натекателем, соединяющим эту камеру с атмосферой, измерителем давления в этой камере

25 н элементами поджима изделия к соплу.

2. Устройство .-.о п, 1, отли гающееея тем, что элементы поджима изделия и соплу выполнены в виде прижимной пластины и сильфона, герметично связывающего пластину со

30 стенкой съемной камеры, причем полог гь сильфона открыта в атмосферу.

3840О4

Редактор Т. Горячева

Заказ 2141/5 Изд. Ы 1560 Тираж 755 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Составитель В. Чудов

Техред Л. Грачева

Корректоры: М, Гарцевич и И. Божко