Способ определения азота в кремнии

Авторы патента:

витель Е. И. Зорин, П. В. Павлов, Д. И. Тетельбаум , А. Ф. Хохлов Горьковский исследовательский физико технический институт при Горьковском государственном университете Н. И. Лобачевского

G01N23 - Исследование или анализ материалов радиационными методами, не отнесенными к группе G01N 21/00 или G01N 22/00, например с помощью рентгеновского излучения, нейтронного излучения (G01N 3/00-G01N 17/00 имеют преимущество; измерение силы вообще G01L 1/00; измерение ядерного или рентгеновского излучения G01T; введение объектов или материалов в ядерные реакторы, извлечение их из ядерных реакторов или хранение их после обработки в ядерных реакторах G21C; конструкция или принцип действия рентгеновских аппаратов или схемы для них H05G)

О П И С А Н И Е 396603

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 12.!V.1971 (№ 1645345/26-25) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 29,7111.1973. Бюллетень ¹ 36

Дата опубликования описания 23.1.1974

М. Кл. G 01n 23/00

Гасударственный комитет

Совета Мииистрав СССР по делам изооретеиий и открытий

УДК 539.219.1(088.8) Авторы изобретения

Е. И. Зорин, П. В. Павлов, Д. И, Тетельбаум и А. Ф. Хохлов

Заявитель

Горьковский исследовательский физико-технический институт при Горьковском государственном университете им. Н. И. Лобачевского

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ АЗОТА В КРЕМНИИ

Предмет изобретения

Изобретение относится к области исследования полупроводниковых материалов и может быть применено для определения примесей III и 1 групп, растворенных в кремнии в виде электрически неактивных комплексов, например Sb .

Известные способы определения азота в кремнии, например спектральный, не позволяют фиксировать то количество азота, которое может повлиять на характеристики приборов при получении пх ионно-лучевым методом.

Цель изобретения вЂ” устранение этого недос гатка.

Для этого исследуемый образец кремния, например, р-типа бомбардируют ускоренными ионами неона или любого другого инертного газа. Ускоренные ионы, проникая в кремний, разбивают растворенные в нем электрн-lQllll нейтральные азотсодержащие молекулы или SiqN4, переводя азот в атомарное состояние. Доза облучения должна быть близкой к граничной дозе аморфизации. Отжиг облученпого ооразца при 600 вЂ” 900 С кроме уд3ления радиационных дефектов приводит к переходу атомов азота из междоузлпй B узлы кристаллической решетки, где азот проявляет свои донорные свойства, т. е. становится электрически активным. Таким образом, донорный азот создаст на поверхности кремния р-типа п-слой, который определяют по знаку термо-э. д. с. плп любым другим способом.

Концентрацию электрически активного азота определяют измерением удельного сопро5 тивленпя «.лп эффекта Холла облученного слоя.

Если l e Tl-c loii QTc) TcTB ет, TO концентрация азота в кремнии меньше предела, при котором азот может оказывать влияние на

10 свойства прпбороз, получе lHblx с помощью нонно-лучевого,lcI llðoâàíllÿ.

Для определения азота в кремнии и-типа образец предварительно переводят в состояние р-типа путем облучения его, например, 15 ионами бора.

20 Способ определения азота в кремнии путем ионной бомбардировки с последующим от>кпгом и определением наличия азота по тшту проводимости oc).ò ченного слоя, GT. пчающнйся тем, что, с целью определения того колпче25 clBB азота. которое может влиять на характеристики приборов прп понно-лучевом легировании, образец кремния, например, р-типа облучают понамп электрически неактивного элемента.

Способ определения зрелости арбузов с помощью ионизирующего излучения // 394704

Способ абсорбционного рентгеновского анализа // 393654

Патент 392801 // 392801

Способ элементного анализа образцов // 392438

Рентгено-спектральный канал // 392385

Способ центрирования // 392384

Устройство для создания сверхвысокого давления // 392383

Устройство для радиационной дефектоскопии // 392382

.всесоюзная // 391453

Держатель образцов для рентгенофазового анализа // 2100798

Устройство для измерения плотности // 2102717

Рентгеновский рефлектометр // 2104481

Изобретение относится к области медицины, а именно к гемостазиологическим аспектам акушерства и гинекологии, и может быть использовано врачами других специальностей

Рентгеновский рефлектометр // 2104481

Способ определения тяжелых элементов // 2105290

Изобретение относится к методам анализа материалов радиационными способами и может быть использовано для определения тяжелых элементов, в том числе и благородных металлов при низких субфоновых их содержаниях в горных породах, рудах и минеральных при поиске, разведке и отработке рудных месторождений

Способ рентгенофлуоресцентного анализа // 2105291

Лазерный центратор для рентгеновского излучателя // 2106619

Изобретение относится к неразрушающему контролю с использованием рентгеновского излучения и может быть использовано для контроля материалов и изделий радиационным методом в различных отраслях машиностроения

Устройство контроля сплошности топливного столба // 2108631

Устройство автоматического контроля содержания полезного компонента в минеральном сырье // 2109275

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в горнодобывающей и горноперерабатывающей отрасли народного хозяйства для контроля содержания полезного компонента в горных выработках, массивах, дробленой и измельченной горной массе, преимущественно для руд с неравномерно распределенным полезным компонентом и сложной структурно-текстурной характеристикой

Автоматизированный модуль разметки границ активного слоя в твэлах // 2109354

Изобретение относится к технологическому оборудованию и предназначено для разметки границ активного слоя в твэлах в процессе их изготовления