Способ измерения адгезии тонких пленок к подложке

ОПИСАН ИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 18.Х1.1971 (№ 1715598/26-9) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 28Х111,1973. Б1оллетень № 35

М. Кл. G Oln 19/04

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР по делам изааретений и открытий

УДК 620.179.4 (088.8) Дата опубликования описания 15.1.1974

Авторы изобретения

А. И. Мазур, М. Х. Шоршоров, В. Г. Алешечкин, В. П. Алехин и Г. И. Маршалкин

Заявитель

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ АДГЕЗИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

К ПОДЛОЖКЕ

Изобретение относи77ся к области тех ноло,гии производства радиодеталей,п может быть использовано при иэготовлени и полупроводни ковых приборов и различных тон копленочных устройств.

Известен способ измерения адгезип тонких пленок к подложке путем |повышения ам и.пптуды возбужденных в системе подложка— пленка механических колебаний ультразву ковоЙ частоты до момента отделения пленки от по1дложки. ,Предлагаемый способ позволяег уменьшить погрешность измерения. Для этого горизонтальные механические колебания ультразвуковой частоты прикладывают к пленке через

:прижатый металлический проводник.

:К подложке 1 (см. чертеж) с нанесенной на ее поверхность пленкой 2 под определенным усилием прижимают металлический проводни к 8, проходящий через рабочий инструмент 4, укрепленный в концентраторе 5 акустической системы. С,помощью ультразвукового генератора и акустической системы в концентраторе,и рабочем инструменте возбуж даюгся механические колебания ультразвуковой частоты. При этом горизонтальные механические IKQJIc63IHHH ультразвуковой частоты приклады вают к пленке через прижатый металлический проводник 3. Первоначально провадни к перемещается относительно поверхности пленки. Затем при увеличеамплпт 3bi B036) ждснньlх колебаний ультрязв\ кОВОЙ H3cToTbl и IpHK3 захватывает

СЯ МЕТЯЛ,7il 1ССКилl ПРОВОДНИКОМ, В РЕЗУЛЬТЯТС чего проводник и пленка перемещаются относительно поверхности подложки.

Величина ус 1.7пя, с которым проводник с пленкой перемещаются относительно;подложки, опреде7HPTcII величиной амплитуды коле10 баний рабочего инструмента. В случае плохой ядгезии тонкоЙ и, Iснки к подлож(се при определенной величине амплитуды колебаний пленка отделяется от подложки. При этом ве. личина амплитуды, регистрируемая в перво15 начальный момент, и В далъне 1шем практически не изменяется. В случае хорошей адгезии пленки к подложке в широком диапазоне

Величин Ям плит) ды колебаний отделение

1пленки от подложки не происходит. При этом

20 в первоначальный момент (до 0,03 сек) амплитуда резко возрастает до ма1асимального значения, определяемого условиями возбуждения колебаний в акустической системе, а затем уменьшается до мини маль1- ого значе25,ния с последующей стабилизацией, Hpll÷åì

C) 1JJCCT33 PT O" H03H3 IHOC ответствие величины силы отрь:ва пленки от подложки величине амплитуды колебаний.

Величина амплитуды колебаний может конт30 рол ироваться, например, полупроводниковы395750

Предмет изобрстения

Составитель Е. Ковалева

Тскрсд А. Камышникова

Редактор T. Фадеева

Корректор Т. Гревпова

Заказ 3523/3 Изд, № 921 Тираж 755 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2.ми тензодатчи ками, наклеенными на концентратор, вблизи крепления рабочего инструмента.

Например, производили определение адгезии алюминиевой пленки толщиной 1,5 мкм, используемой в качестве металлизации при созда нии омических контактов в производстве интегральных:схем. Ис пользовали алюми ниевую проволоку диаметром 0,1 мм. Предварительно величину адтезии,пленок опрс деляли известным способом. При величине адгезии 40 — 45 кг/см величина амллитуды колебаний, при которой происходило отделение плен ки от подложки, составляла 0,7 мкм, при величине адгезин 80 — 90 кг/см величина амnлитуды составляла 1,6 мкм, при величине

140 — 150 кг/см — 2,5 мкм.

С пособ измерения адгезии тонких пленок ,к подложке:путе м повышения амплитуды возбу кденных в системе подложка — пле нка механических колебаний ультразвуковой часто10 ты до момента отделения .пленки от .подлож,ки, отлачающийся тем, что, с целью у меньшения погрешности измерения, горизонтальные механические колебания ультразвуковой частоты lIIðè êëàäûâàþò к пленке через прH?Kà15 тый металличеокий проводник.