Устройство для измерения толщины металлических

Авторы патента:

А. Ф. Волков, Н. С. Папков , Б. И. Юрушкин

G01B7/06 - для измерения толщины

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

395704

Союз Советски»

Социалистических

Республин

Зависимое от авт. свидетельства № 112875

Заявлено 29.Xll.1971 (№ 1731221/25-28) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 28.V111.1973. Бюллетень № 35

Дата опубликования описания 11 1.1974

М. Кл. G 01Ь 7/06

ГосударстеенныР комите1

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

УДК 531.717.11 (088.8) Авторы изобретения

А. Ф. Волков, Н. С. Папков и Б. И. Юрушкин

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ

ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к неразрушающим методам и средствам контроля размеров материалов и изделий и может быть использовано при контроле полупроводниковых слоистых стр уктур.

Известно устройство для измерения толщины металлических изделий по авт. св. № 112875, содержащее два токовозбуждающих контакта и два измерительных контакта, предназначенных для установки на поверхности контролируемого изделия. Измерительные контакты подключены к индикатору напряжения.

Однако точность контроля известным устройством сложных полупроводниковых структур недостаточная вследствие влияния на результаты измерения нестабильности удельного сопротивления материала.

Целью изобретения является повышение точности контроля полупроводниковых слоистых структур.

Для этого токовозбуждающие контакты выполнены в виде зондов круглого сечения с различными диаметрами, а измеритель напряжения включен между токовозбуждающими и измерительными контактами.

На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.

Оно содержит токовозбуждающие контактызонды 1 и 2, которые одновременно с контактом-зондом 3 являются измерительными, Причем зонды 1 и 8 выполнены с меньшим, а зонд 2 вЂ” с большим диаметрами.

Кроме того, устройство имеет полупровод5 никовый слой 4, подложку 5, источник тока б, переключатель 7, амперметр 8 и вольтметр 9.

Устройство функционирует следующим образом.

При заданном значении тока, возбужденно10 го посредством зондов 1 и 2 в слое 4 на .подложке 5, регистрируются значения напряжений между зондами 1 вЂ” 8 и 2 вЂ” 8.

Затем IIQ графикам зависимости соотношений указанных напряжений и толщин слоя и

15 подложки, составленным по эталонным образцам, определяется толщина контролируемого слоя.

20 Предмет изобретения

Устройство для измерения толщины металлических изделий,по авт. св. № 112875, отличаюи1ееся тем, что, с целью повышения точ25 ности контроля полупроводниковых слоистых структур, токовозбуждающие контакты выполнены в виде зондов круглого сечения с различными диаметрами, а измеритель напряжения включен между токовозбуждающими и измс30 рительными контактами.

395704

Составитель А. Духанин

Техред T. Курилко

Редактор Л. Народная

Корректор О. Тюрина

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 3520/4 Изад. № 925 Т ираж 755 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Устройство для измерения толщины металлических

Гпчп 'зппп'^рто?: vuiia ипаниг lutji // 393574

Датчик к токовихревому дефектоскопу // 392401

Способ измерения зависимости фазы электромагнитной волны от параметров электропроводных листовых материалов // 392399

Емкостной преобразователь перемещений // 392324

Емкостной измеритель площади поперечного сечения текстильных нитей // 392323

Электроразрядный дефектоскоп // 391463

Патент 389393 // 389393

Цифровое устройство для измерения толщины ферромагнитных материалов // 389392

Патент 386232 // 386232

Термозонд для неразрушающего контроля толщины защитных пленочных покрытий // 2101674

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Устройство для измерения толщины плоского изделия и способ его реализации // 2107257

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Устройство для определения наличия и толщины пленки электролита на поверхности металлических объектов // 2107891

Вихретоковое устройство для неразрушающего контроля // 2111482

Индукционный датчик контроля толщины металлических покрытий // 2112919

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Неразрушающий способ определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений // 2113691

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Устройство для измерения толщины проводящего покрытия с непосредственным отсчетом // 2128818

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий

Магниторезистивный элемент и способ его получения // 2128819

Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Электромагнитный толщиномер // 2129253

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Измерительное устройство // 2133448

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе