Патент ссср 395205
О П И С А Н И Е 395205
ИЗОбРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советова
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 28.!.1971 (№ 1615649/25-8) М. Кл. В 23р 1/00 с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 28.V111.1973. Бюллетень ¹ 35 УДК 621.9.048.4.06(088.8)
Дата опубликования описания 21.II.1974
Государственный комитет
Совета Министров СССР па делам изобретений и открытий
Автор изобретения
К. К. Гуларян
Заявитель
ПОСОБ ЭЛЕКТРОЭРО3ИОННОЙ ОБРАБОТКИ ВЫСОКООМНЫХ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ
Изобретение касается электрофизических методов обработки.
Известны способы электроэрозионной обработки высокоомных,полупроводниковых материалов, при которых .пробой межэлектродного промежутка осуществляют маломощными импульса ми, а съем материала производят силовыми импульсами. Одна ко с повышением удельного сопротивления полу1п роводников резко снижается производительность обработки, а большинство высокоомных полупроводников невозможно обрабатывать.
Для увеличения производительности обработки высокоомных полупроводников электроэрозионным методом напряжение силовых импульсов уста навливают больше напряжения импульсов пробоя межэлектродного промежутка на величину падения напряжения на электродах при заданном токе раз ряда.
На чертеже предста влена эквивалентная схема цепи, реализующей данный способ.
На нем обозначены: El — напряжение источника поджига промежутка, Š— напряжение силового источника, R, — суммарное оммическое сопротивление электродов, RI,— оммичсское сопротивление межэлектрод ного промежутка, К1 и К вЂ” ключи.
Величина напряжения силового источника оппеделяется из условия: 1=le, где Jll — импульсный ток в силовой цепи, при котором обеспечиваются требуемые геометричеокие параметры лунок на;поверхности обрабатываемой детали.
5 П ри этом принимаем, что Еее — — EI и Rgo=0, / э \ отсюда следует: E>= /+ ) Е пр
Второй член коэффициента при El определяет величину, на которую повышается напря10 жение силового источника по сравненшо с источником поджигающих импульсов. Амплитуда напряжения поджигающих импульсов в зависимости от точности обработки может иметь значение от 30 до 200 в.
Предмет изобретсния
Спосоо электроэрозионной обработки высокоомных полупроводниковых материалов, при котором пробой межэлектродного промежутка
20 осуществляют маломощными IIvïóëüñàìè, а съем материала производят силовыми импульсами, отличаю цайся тем, что, с цслью повышения производительности обработки высокоOMHblx .ïoëóëðoâoäíllêoâblõ материалов, напря25 жение силовых импульсов устанавливают больше напряжения импульсов пробоя межэлектродного,промежутка на величину падения напряжения 11а екTDoëàõ пn è зл.таином токе разряда.
395205
Составитель Б. Артамонов
Техред Л. Богданова
Корректор В. Брыксииа
Редактор Т. Шагова
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 551/15 Изд. № 34 Тираж 888 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5

