Установка для химической обработки плоских изделий

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТО=- СИОМУ СВМДА 1 ЙЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 17Х11.1970 (№ 1461086/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

-Опубликовано 27Х11.1973. Бюллетень № 32

Дата опубликования описания 14.Х! I.197;3

М. Кл. С 23@ 3 00

Государственный комите1

Совета Министров СССР во делам изооретений и открытий

УДК 621.794.41(088.8)

Авторы изобретения

В. Г. Бибаев, А. T. Мягков, Г. И. Никифоров и Р. В. Щербачев

Заявитель

УСТАНОВКА ДЛЯ ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ

ПЛОСКИХ ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к области химической обработки изделий.

Известна установка для химической обработки плоских изделий, например кремниевых или ситалловых пластин, содержащая вибропривод и кольцевую реакционную камеру в виде прямоугольного корпуса, внутри которого расположен кольцевой сспаратор.

Предложенная установка отличается от известной тем, что в отверстиях сепаратора, расположенных под углом к вертикали, установлены вкладыши, имеющие па внутренней цилиндрической поверхности продольные зубья, входящие в зацепление с продольными зубьями корпуса цилиндрической щетки, расположенными на внешней цилиндрической поверхности.

На фиг. 1 схсматично изображена предлагаемая установка для химическо.3 обработки плоских изделий, общий впд; па фиг. 2 разрез по Л вЂ” А па фиг. 1; па фиг. 3 — разрез по Б — Б на фиг. 2, продольная развертка реакционной камеры; па фиг. 4 — разрез по

 — В на фиг. 2; на фиг. 5 — разрез по 1 — 1 на фиг. 4.

Установка состоит яз вибропривода 1 и кольцевой реакционной камеры 2 в виде прямоугольного корпуса, внутри которого рас положен кольцевой сепаратор 8. В отверстиях

4 сепаратора 8, расположенных под углом к вертикали, установлены вкладыши 5, имеющие на внутренней цилиндрической rIOBepxHOстй продольные зубья, входящие в зацепление с продольными зубьями корпуса цилиндрической щетки б, расположенными на внешней цилиндрической поверхности.

Отсос паров и газов из зоны химической обработки осуществляется через центральную полость реакционной камеры. Боковое окно 7

10 в реакционной камере служит для загрузки и выгрузки плоских изделий,в кассету между дном кассеты и щеткой вкладыша, Оператор, обслуживающий установку, вручную закладывает по одному плоскому изде15 лию в каждую касету 8 между ее днищем и щеткой б вкладыша 5. Сепаратор 8 под действием направленных колебаний, получаемых от вибропривода 1, дискретно или непрерывно, в зависимости от режима работы фикса20 тора 9, перемещает изделие через все зоны химической обработки и термической сушки.

Наклон сквозных отверстий 4 сепаратора 8, в которых находятся кассеты с изделиями, обеспечивает зубчатое зацепление между кас25 сетой 8 и вкладышем 5, а, следовательно, приводит к возникновению диссипативных сил (сил трения) между поверхностью изделия и щеткой за счет вращения вкладыша под действием направленных колебаний виб30 ропривода 1. Диссипативные с.илы интенси392172 фи цируют химический процесс и эффективно удаляют микрочастицы с поверхности обрабатываемых изделий в процессе объемной или струйной химической обработки.

Реакционная камера может .иметь следующие зоны обработки: 1 — загрузки и выгрузки изделий; II, III, ГЧ вЂ” объемной обработки в подогретых жидкостях; V — объемной обработки в холодных реактивах; VI, VII, VIII— струйной обработки; IX — сушки нагретым газом.

Предмет изобретения

Установка для химической обработки плоских изделий, например кремниевых или ситалловых пластин, содержащая вибропривод и кольцевую реакционную камеру в виде прямоугольного корпуса, внутри которого расположен кольцевой сепаратор, отличающаяся тем, что, с целью интенсификации процесса обработки и удаления микрочастиц с поверхности обрабатываемых изделий, в отверстиях сепаратора, расположенных под углом к вертикали, установлены вкладыши, имеюшие на

10 внутренней цилиндрической поверхности продольные зубья, входящие в зацепление с продольными зубьями корпуса цилиндрическо:i щетки, расположенными на внешней цилиндрической поверхности.

15 Риг 5

Составитель А. Смирнова

Техред Т. Ускова Корректор В. Жолудова

Редактор Г. Туркова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 3310/11 Изд. № 1810 Тираж 826 Подпис ое

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5