Вптб
387234
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Сощивлистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 22.11.1971 (№ 1628813/18-10) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 21.VI.1973. Бюллетень ¹ 27
Дата опубликования описания 6 V 1974
М. Кл. G 01l 1/22
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
УДК 531.781 (088.8) Авторы изобретения
А. Д. Хазан, Г. К. Ворон
Заявитель
Всесоюзный научно-исследовательский институт медицинского приборостроения
ТЕНЗОРЕЗИСТИ ВНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЪ
Предмет изобретения
Изобретение относится к измерительной технике и может найти применение в медицинских диагностических приборах.
Известные тензорезистивные преобразователи, содержащие упругий элемент, состоящий из балки в виде консоли с симметрично расположенными по отношению к ее продольной оси тензочувствительными зонами, не обеспечивают достаточной точности преобразования и к.п.д. на единицу объема.
Прсдлагаемое устройство не имеет этих недостатков и отличается от известных тем, что в нем упругий элемент выполнен в виде многослойной тонкопленочной конструкции с четным числом последовательно соединенных тензочувствительных слоев, разделенных изолирующими пленками.
На чертеже изображен предлагаемый тензорезистивпый преобразователь.
Упругий элемент преобразователя содержит тонкую изолирующую подложку с напыленными на ней и последовательно соединенными тепзочувствительными слоями 1. Последние чередуются с изолирующими пленками 2 и образуют зоны 8 и 4 тензослоев, расположенных по обеим сторонам изолирующей подложки. Две зоны, от которых отводятся три электрических вывода 5, б и 7, образуют электрическую схему полумоста. Вывод б электрически связывает два тензослоя зон 8 и 4, непосредственно напыленных на подложке с одной и другой стороны.
Под действием силы, приложенной к незакрепленному концу. преобразователя, изги5 бается упругий элемент. Тензочувствительные слои 1, входящие в зону 8 и расположенные на верхней стороне подложки, растягиваются, если приложенная сила направлена сверху, и пзгибают подложку вниз. Тензочувствитель10 ные слои 1 зоны 4, находящиеся с нижней стороны подложки сжимаются.
Сжатие и растяжение тензослоев приводит к тому, что изменяются их электрические сопротивления под действием компонентов ме15 ханической энергии.
Соответственно в одной зоне, например зоне 8, получается суммарное уменьшение электрического сопротивления, а в зоне 4 — суммарное увеличение. В результате образуется
20 электрический сигнал, пропорциональньш перемещению и воздействующей силе.
25 Тензорезистивный преобразователь, содержащий упругий элемент, состоящий пз балки в виде консоли с симметрично расположенными по отношению к се продольной оси тепзочувствительпымп зонами, отличаюсцийся Tcм, 30 что, с целью повышения точности преобразо387234
Составитель А. Новиков
Техред Т. Курилко
Корректоры: В. Федулова и Е. Михеева
Редактор Т, Иванова
Заказ 1375/21 Изд. № 777 Тираж 755 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 ванин и к.п.д. на единицу объема, в нем упругий элемент выполнен в виде многослойной тонкопленочной конструкции с четным числом последовательно соединенных тензочувствительных слоев, разделенных изолирующим и пленка ми.
