Полупроводниковый тензометрический преобразователь давления

Авторы патента:

G01L9/04 - резисторных тензометров

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

38I932

Союз Советских

Социалистимеских

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

М. Кл. 6 01l 9 04

Заявлено 01.XI.1971 (№ 1710892/18-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам иЭобретений и открытий

Опубликовано 22.Ч.1973. Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 16.Х.1973

УДК 531.787.91 (088.8) Авторы изобретения

A. В. Сандулова, Ю. И. Заганяч, Е. И. Чижишин и Б. И. Бойко

Львовский политехнический институт

Заявитель

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ТЕНЗОМЕТРИЧЕСКИЙ

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ

Изобретение относится к полупроводнико-, вой тензометрии и может быть использовано для измерения давления при высоких температурах.

Известны полупроводниковые тензометрические преобразователи давления, в которых упругий элемент (мембрана, консоль) выполнен из стали, а чувствительные элементывЂ” полупроводниковые тензорезисторы вЂ” приклеены с помощью связующего (клей или цемент).

Однако известные преобразователи работают в ограниченном температурном диапазоне до +50 C вследствие большой ползучести. Это приводит к падению чувствительности, невоспроизводимости характеристик, временной нестабильности характеристик.

Кроме того, известные преобразователи должны иметь изоляционный слой наличие которого ухудшает измерительные характеристики прибора.

Для расширения температурного диапазона преобразователей до +300 С, уменьшения ползучести тензорезисторов и повышения стабильности в предлагаемом преобразователе упругий элемент (мембрана, KOFIcO:Ih) изготовлен из керамического материала, например, типа 22ХС, а чувствительные элементы (тензорезисторы) соединены с упругим элементом посредством стекла, например, типа С48-2, С52-1.

FIa чертеже показан описываемый преобразователь, состоящий из корпуса 1, упругого элемента 2, чувствительных элементов 3 и связующего 4, соединя|ощсго чувствительные

5 элементы с упругим элементом.

Химическая стойкость керамического материала, например, типа 22ХС, малая зависимость модуля упругости и предела проч10 ности его от температуры позволяет расширить диапазон рабочих температур данного преобразователя в область высоких температур.

Известная технология изготовления изде15»з керамики, например, типа 22ХС, а также отличная спаиваемость металлизированной керамики дает возможность повысить технологичность изготовления полупроводниковых преобразователей давления. Хорошие

20 диэлектрические свойства этого материала позволяют избавиться от изолирующего слоя, что приводит к улучшению передачи деформации, передаваемой от упругого элемента к чувствительным элементам.

В качестве чувствительного элемента применяют полупроводниковые тензорезисторы с токовыводами, например, с платиновыми, которые позволяют проводить термообработ30 ку преобразователей на различных стадиях его сборки до +800 С.

381932

Предмет изобретения

ДабПЕииЕ

Составитель Г. Невская

Техред Т. Миронова

Корректоры: Л. Орлова и Н. Стельмах

Редактор С. Хейфиц

Заказ 2712/2 Изд. № 1714 Тираж 755 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

В качестве связующего материала применяют стекла, например, типа С48-2, С52-1, дающие спаи с керамикой, например, типа

22ХС и полупроводниковыми тензорезисторами, Полупроводниковый тензометрический преобразователь давления, содержащий упругий элемент и полупроводниковые тензорезисторы, отличающийся тем, что, с целью уменьшения ползучести тензорезисторов, повышения стабильности и расширения температур5 ного диапазона, упругий элемент выполнен из керамического материала, например, типа

22ХС, а тензорезисторы соединены с упругим элементом посредством стекла., например, типа С48-2, С52-1.

Похожие патенты:

Датчик давления // 377652

Датчик давления // 365604

Всесоюзная batli г'*''^ vr'.>&4-''-'r.''f;'i // 362212

Библиотенл iи. п. михайлов // 356496

Датчикдавления // 324531

Способ стабилизации температурных характеристик // 312155

Тензометрический датчик давления // 308319

Тензометрическиу^ преобразователь давления // 304462

Датчик давления // 301582

Тензотермодагчик // 296967

Полупроводниковый преобразователь гидростатического давления для коррозионно-активных жидких сред // 2100789

Двухмембранный тензопреобразователь давления // 2101688

Чувствительный элемент // 2106610

Изобретение относится к конструированию и технологии производства чувствительных элементов для датчиков давления, расходомеров и акселореметров

Микроэлектронный датчик перепада давления егиазаряна мдпд-е и способ его изготовления // 2107272

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к микроэлектронным измерительным преобразователям перепада давлений, и может быть использовано для измерения перепада давлений жидких и газообразных сред, например в расходомерах перепада давлений в качестве дифференциального монометра

Датчик давления // 2115101

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к тензометрическим датчикам давления

Интегральный преобразователь деформации и температуры // 2115897

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при разработке малогабаритных полупроводниковых высокочувствительных преобразователей деформации и температур

Тензометрический преобразователь давления // 2120116

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для регистрации давления различных сред

Тензорезисторный дифференциальный преобразователь давления // 2127875

Изобретение относится к области измерительной техники и автоматики и может быть использовано в малогабаритных полупроводниковых электромеханических преобразователях разностного давления газообразных или жидких веществ в электрический сигнал

Преобразователь давления // 2134408

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении давления агрессивных жидких и газообразных сред

Полупроводниковый датчик давления // 2134869

Изобретение относится к преобразователям давления в дискретный электрический сигнал и может быть использовано автоматизированных системах управления