Антидинатронное покрытие
О П И СА Н И E 376827
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Соез Советскик
Социалистическиа
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 29Л11.1971 (№ 1639538/26-25), с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 05ЛЧ.1973. Бюллетень № 17
Дата опубликования описания 12ХП.1973
М. 1 л. Н Olj 5/08
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.385.032.755 (088.8) Авторы изобретения В. Н, Батыгин, В. Н. Бессмертных, Л. Н. Прохоров и Г. П. Щелкунов
Заявитель
АНТИДИ НАТРОННОЕ ПОКРЫТИ Е
Изобретение относится к мощным электровакуумным приборам, в частности к приборам
СВЧ. В этих приборах для окон выводов энергии и высоковольтных изоляторов применяются алюмооксидные керамические материалы, имеющие высокий коэффициент вторичной электронной эмиссии (квээ) .
Вторичный электронный резонанс, являющийся следствием высокого квээ диэлектрика, — одна из причин разрушения диэлектрика вывода энергии при высоких уровнях пропускаемой через него импульсной мощности.Для любой конструкции окна лучшие результаты могут быть получены путем использования диэлектрика с низким квээ. В высоковольтных изоляторах электронных приборов в результате местного лавинного нарастания интенсивности бомбардировки за счет вторичных электронов также может происходить разогрев керамики и разрушение ее. И в этом случае использование диэлектрика с более низким квээ позволит предотвратить его разрушение.
Известны способы подавления вторичного электронного резонанса, например способ снижения квээ с поверхности путем нанесения на диэлектрик металлов с более низким, чем у подложки, квээ.
Однако наносимые покрытия недостаточно стойки к многократным прогревам в газовых средах и в вакууме, не обеспечивают стабильности свойств узла в течение длительного времени работы прибора, слабо связаны с подложкой и, кроме того, испаряются при нагреве и распыляются при бомбардировке электро5 нами.
Предлагается в качестве покрытия диэлектрика в окнах выводов энергии мощных ЭВП и высоковольтных изоляторов использовать проводящую, например, титаносодержащую
10 глазурь с пониженным квээ, наносимую на поверхность диэлектрика любым известным способом (пульверизацией, окунанием, намазыва-: нием и др.) и подвергаемую термообработке в восстановительной среде, 15
Покрытие с низким поверхностным сопротивлением, как известно, также дает возможность за счет малых электрических утечек избежать накопления положительных зарядов на
20 поверхности изолятора и тем самым уменьшить интенсивность электронной бомбардировки и способствует более равномерному распределению электрического поля по диэлектрику.
25 Пример. На внутреннюю вакуумную поверхность окна вывода энергии, изготовленного на алюмооксидной керамике типа А-995 (содержание А120з — 99,5% ), была нанесена методом окунания алюмосиликатная бесще30 лочная титаносодержащая глазурь и затем
376827
Предмет изобретения
Составитель Г. Жукова
Техред T. Курилко
Корректоры: М. Гарцевич и А. Степанова
Редактор Т. Орловская
Заказ 1892/4 Изд. № 548 Тираж 780 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 оплавлена в восстановительной среде. Получено плотное покрытие, прочно связанное с подложкой, стабильное в различных защитных газовых средах и в вакууме при нагреве до
1000 — 1200 С. На динамических испытаниях прибора температура керамического окна вывода энергии при прохождении через него мощности 15 квт снизилась более чем на 200 С по сравнению с неглазурованной керамикой.
Антидинатронное покрытие для керамических деталей электронных приборов, преиму5 щественно приборов СВЧ, на основе титана, отличающееся тем, что, с целью повышения термостойкости и прочности сцепления с деталью, покрытие выполнено из титаносодержащей глазури.
