Способ измерения расхода паров тетрахлорида кремния

Авторы патента:

G05D11 - Управление или регулирование соотношений компонентов в смесях (управление или регулирование химических или физико-химических переменных величин, например величины pH G05D 21/00; управление или регулирование влажности G05D 22/00; управление или регулирование вязкости G05D 24/00)

C01B33/08 - соединения, содержащие галоген

О П И С А Н И Е 374230

ИЗОБРЕТЕ Н ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 09.71.1971 (№ 1668360/23-26) с присоединен нем заявки ¹â€”

ПриоритетвЂ”

Опубликовано 20.1 ll.1973. Бюллетень № 15

Дата опубликования описания 9Л/11.1973

М. Кл. С 01b ЗЗ/08

G 05c1 11/00

Комитет по делан изобретений и открытий при Совете Мииистров

СССР

УДК 661.68-012.1 (088.8) Авторы изобретения Ю. Д. Чистяков, А. И. Бутурлин, Г. В. Дуванов, В. В. Слотин и В. И. Чиликин

Московский институт электронной техники

Заявитель

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ РАСХОДА ПАРОВ

ТЕТРАХЛОРИДА КРЕМНИЯ

Предмет изобретения

Изобретение относится к способам количественного определения расхода компонентов парообразных веществ в потоках паро-газовых смесей (ПГС), основанным на использовании селективных реакций.

Известные способы определения расхода паров тетрахлорида кремния в ПГС с использованием селективных реакций (например, фотокалориметрический метод) не обладают достаточной чувствительностью или могут применяться только для дискретного контроля.

Кроме того, в известных способах определение расхода паров тетрахлорида кремния основано на измерении его концентрации в потоке ПГС, что одновременно требует измерения расхода газа-носителя.

Целью изобретения является увеличение чувствительности и обеспечение возможности непосредственного измерения расхода .паров тетрахлорида кремния в потоке ПГС. Для этого контролируемый поток отводят в измерительную линию и расход паров тетрахлорида кремния однозначно определяют по скорости образования двуокиси кремния при реакции гидролиза паров тетрахлорида кремния при избытке паров воды и постоянной температуре выше 60 С. Скорость образования двуокиси кремния измеряют любым пригодным способом, например, по изменению толщины или массы образующегося слоя. Для непрерывного чувствительного и точного измерения скорости образования массы тонких слоев используют, в частности, способ пьезокварцевого микровзвешивания и по скорости изменения частоты или эквивалентного сопротивления резонатора определяют расход паров тетрахлорида кремния.

Способ измерения расход,а паров тетрахлорида кремния в паро-газовых смесях путем отведения контролируемого потока в измерительную линию, отличающийся тем, что, с целью увеличения чувствительности и обеспечения возможности непосредственного измерения расхода паров тетрахлорида кремния, по скорости образования двуокиси кремния при реакции гидролиза паров тетрахлорида кремния при условии избытка паров воды и постоянной температуры выше 60 С однозначно определяют расход паров тетрахлорида кремния.