Способ изготовления электрода с нанесенной на него переключающей пленкой
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Саоетскнк
Сацналнстнкескнк
Респтблнк
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 01.1Х.1970 (№ 1472416/18-24) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 12.Ш.1973. Бюллетень № 14
Дата опубликования описания З.VII,1973
М. Кл. G 11с l 1 j34
Номнтет по делам изобретений н открытий прн Cosere Министров
СССР
УДК 681.327.6(088.8) Авторы изобретения
P. Е. Тайманов и К. В. Сапожникова
Заявитель
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОДА С НАНЕСЕННОЙ
НА НЕГО ПЕРЕКЛЮЧАЮЩЕЙ ПЛЕНКОЙ
Известен способ изготовления электрода с нанесенной на него переключающей пленкой, резко меняющей свое сопротивление при определенных пороговых значениях напряжения, заключающийся в нагреве и испарении исходного атмосферного полупроводникового материала в вакууме с осаждением на подложку, которая выполняет роль электрода.
Недостатком известного способа изготовления электрода с нанесенной на него переключающей пленкой является низкая производительность процесса нанесения пленки и низкое качество получаемого этим способом электрода.
Цель изобретения — повышение производительности процесса и качества электрода с нанесенной на него переключающей пленкой.
Для достиженпя указанной цели из аморфного полупроводникового материала формируют трубу, внутри которой размещают вещество электрода. Затем трубу устанавливают в индукционной печи, в потоке инертного газа нагревают проводящее вещество до полного расплавления. Из расплава вытягивают электрод, покрытый пленкой из аморфного полупроводникового материала.
Предлагаемый способ включает в себя следующие операции: из аморфного полупроводникового материала формируют трубу, причем труба может быть выполненя из мелких гранул, порошка или быть сплошной; вещество электрода (например, германий, проводящее стекло, некоторые сплавы и т. д.) размещают в трубе из аморфного полупроводнико5 вого материала, например, халькогенидного, оксидного и т. д.; трубу устанавливают в камере, которую, в свою очередь, помещают в индукционную печь; из камеры удаляют воздух и пропускают через нее поток инертного
10 газа, например аргона или гелия.
Этот поток способствует охлаждению получаемого электрода с нанесенной на него переключающей пленкой; предотвращению образования диэлектрической (окисной) пленки
15 между электродом и переключающей пленкой; предотвращению возникновения экзотермической реакции (например, вещества электрода с кислородом), повышающей температуру аморфного полупроводникового материала и
20 поэтому вызывающей его стекание, приводящее к разрывам получаемой пленки.
Вещество электрода нагревают индукционным способом до полного расплавления, при .этом аморфный полупроводниковый материал
25 разогревается за счет теплопередачи и также плавится.
Из расплава начинают на небольшой скорости вытягивать электрод, покрытый пленкой пз аморфного полупроводникового материала.
30 Скорость литья постепенно увеличивают до
373769
Составитель В. Вакар
Техред Т, Ускова
Корректоры: Л. Корогод и М. Коробова
Редактор Е. Семанова
Заказ 1785/3 Изд. Хе 1413 Тираж 576 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр Сапунова, 2 величины порядка сотен метров в минуту.
Трубу прп этом подают в направлении вытягивания со скоростью порядка нескольких десятых долей миллиметра в минуту, В результате образуется тонкий электрод в виде проволоки, покрытый пленкой из аморфного полупроводникового материала, который наматывается на бобину.
Описанный способ получения электрода с нанесенной на него переключающей пленкой обладает высокой производительностью и дает возможность получать негигроскопичные однородные переключающие пленки. Необходимо отметить, что электрод с нанесенной на него переключающей пленкой, получаемый по предлагаемому способу, универсален — он служит основным узлом разнообразных коммутирующих и запоминающих устройств.
Предмет изобретения
Способ изготовления электрода с нанесенной на него переключающей пленкой, включающий в себя операцию нагрева аморфного полупроводникового материала, образующего пленку на электроде, отличающийся тем, что, 10 с целью повышения качества электрода, из аморфного полупроводникового материала формируют трубу, внутри которой размещают вещество электрода и в потоке инертного газа нагревают это вещество до полного расплавlS ления, а затем из расплава вытягивают электрод.
