Патент ссср 365665

ОПИСАНИЕ 365665

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Со1оз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

М. Кл. О 01г 27 08

Заявлено 12.11.1971 (№ 1624882/18-10) с присоединением заявки ¹â€”

Комитет ло делам

Приоритет—

Опубликовано 08.1.1973. Бюллетень ¹ 6

Дата опубликования описания 28.111.1973 изооретений и открытий лри Совете Министров ссср

i Д 1" 621 31 i 33 (088 8) ф. ф. Файзуллин и E E Аверьянов

Казанский ордена Трудового Красного Знамени государственный университет им. В. И. Ульянова-Ленина

Авторы изобретения

Заявитель

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ

ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК

Изобретение относится к методике замера удельного сопротивления и емкости защитных, диэлектрических и полупроводниковых пленок иа поверхности металлов.

Известны способы измерения удельного сопротивления диэлектрических пленок, основанные на применении в качестве электродов фольги, водных растворов электролита, ртути, напыленного металла.

Однако использование, например, широко распространенных фольговых электродов ие обеспечивают контакта со всей поверхностью измеряемого образца. Применяемые в качестве электродов водные растворы электролитов или ртуть иногда вступают в химическую реакцию с материалами образцов. Результаты замеров могут быть неоднозначны из-за гого, что водный раствор электролита пропитывает пористый диэлектрик. Электроды из иапыленHîãо металла требуют получения с ними надежного контакта. На образцы должны быть заранее иапылены контактные площадки, что делает процесс измерения трудоемким, Для повышения точности измерения удельного сопротивления предлагается способ, по которому исследуемый образец помещают в объем, заполненный инертным газом, между анодом и дополнительным электродом и, создавая между анодом и катодом зону тлеющего разряда, определяют значение тока п напряжения между дополнительным электродом и образцом.

На чертеже показана схема, поясняющая

5 описываемый способ.

Под верхней частью колпака 1 вакуумного поста монтируют тарель 2 из труднораспыляемого материала. например магния или алюминия, которая служит катодом. На раси стоянии 7 — 10 сл! под ией монтируют такой же формы и из такого же материала эзектрод, служащий анодом 8. Вблизи анода на изоляционной подставке 4 помещают образец 5. Образец изолирован со всех сторон, 15 кроме обращенио!! к катоду, 11 поло кение c Ão жесткo фиксировано. 1-1а pacci os!I»III !!ecl o,ll ких сантиметров от образца размещают электрод 6 в виде кольца, изготовленньш из трудноокисляемого металла. Проволочныс

2О зонды к кольцу и образцу проходят через вакуумные уплотнения. 11еобходима хорошая электрическая изоляция зондов от IIO»II3IIpoванного газа, иначе будут велики токи утечки, влияющие на точность измерения. Для из23 меренпя сопротивлений ис более 10 Ло11, зонды могут быть выполнены из тонкой алюминиевой проволоки, окись алюмшшя служит в этом случае изоляцией. Измереги!е высокоомных образцов требует дополнительной изоля3Q ции зондов. Под колпаком создают вакуум.

365665

Предмет изобретения

Составитель Т, Афонина

Редактор С. Хейфиц Техред Т. Миронова Корректоры Г. Запорожец и Л. Чуркина

Заказ 726 Изд, № 1089 Тираж 755 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изооретспий и открытий при Совете Министров СССР

Москва, )К-35, Раушская паб., д. 4/5

Загорская типография

К аноду и катоду подают напряжение, достаточное для зажигания тлеющего разряда.

Удельное сопротивление измеряют при переключателе П в положение П методом вольтметра-амперметра. Источником напряжения служит падение напряжения на участкс кольцеобразный электрод-образец или высоковольтная батарея, если сопротивление

tïåíêè велико. Измерение сопротивления производят каждый раз при одном и том же токс тлеющего разряда. Сопротивление участка кольцо-образец определяют замером эталонного образца и в дальнейшем пз общсго результата вычитают.

Измерение емкости производят установкой переключателя П в положение 1. Конденсатор С> служит для исключения постоян4 пой составляющей и выбирается достаточно оольшой емкости. Емкость измеряют соответствующим прибором 7.

Способ измерения удельного сопротивления диэлектрических пленок, основанный на методе измерения с помощью вольтметра— амперметра, отлича ощийся тем, что, с целью повышения точности измерения, исследуемый образец помещают в обьем, заполненный инертным газом, между анодом и дополнительным электродом и, создавая между ано15 дом и катодом зону тлеющего разряда, определяют величину тока и напряжения между дополнительным электродом и образцом.