Микроманипулятор

О П И -С А Н И-Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ С8ИДЕТЕЛЬСТВУ

363578

Союз Советских

Социалистических

Республик фф! Ч Кч B 25j 7/00 !

1

УДК 53.083.98(088.8) Зависимое от авт. свидетельстьа №вЂ”

Зачвлепо 03.11.1971 (№ 1617099/25-8} с присоединением заявки №вЂ”

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Приоритет—

Опубликовано 25.Õ11.1972. Бюллетень № 4 за 1973

Дата опубликования описания ОI.III.1973

Авторь, изобретения

И. Д. Вершинин, Э. П. Павлов и В. М. Саикович

Заявитель

МИ КРОМА Н И П УЛЯТОР

Изобретение относится к вакуумным координатчикам для манипулирования объектами исследований, находящигмися в высоковакуумных камерах.

Известен микроманипулятор для систем высокого вакуума, несущая платформа которого жестко связана с коаксиальными валами и коаксиальными ваюуумными вводами, перпен дикулярныхги плоскости платформы, и несет направляющие и предметный стол.

Предлагаемый манипулятор отличается от известных тем, что он снабжен третьим коаксиальным валом с шестерней, вводимой поступательным перемещением в зацепление с шестерней, закрепленной на оси предметного стола, установленного на подвижной опоре, направляющие которой жестко закреплены на раме, перемещающейся по направляющим, перпендикулярным направляющим опоры, и жестко закреплены на несущей платформе, пли с зубчатой рейкой, входящей своим ползупом в паз опоры.

На фиг. 1 показан описываемый микроманипулятор, общий вид; на фиг. 2 — разрез IIO предметному столу.

Предметный стол 1 координатника размещен на верхней плоскости подвижной опоры

2. В опоре .имеется отверстие, в которое вставлена ось стола. К оси стола с нижней стороны опоры прикреплена шестерня 3. На нижней стороне опоры имеется паз. Сквозь отверстия на концах опоры проходят две горизонтальные направляющие 4. концы которых закреплены в подвижной раме 5. К подвижной раме жестко прикреплена рейка б. Сквозь отверстия в подвижной раме проходят еще две горизонтальные направляющие 7, перпендикулярные направляющим 4. Концы направляющих 7 закреплены в стойках 8, укрепленных на несущей платформе 9, к которой прикреплена скоба 10 с отверстием и пазом. В этом пазу находится хвостовик рейки 11. На рейке укреплен ползун 12, входящий в паз. расположенный на нижней стороне опоры 2. В центре несущей платформы имеется отверстие, соосное отверстию в скобе. Несущая платформа закреплена на фланцс первого полого вертикального вала 18, проходящего через вакуумный ввод 14, расположенный на стенке рабочей камеры. На нижний конец вала 18 навинчен диск 15, фиксируемый контр.-айкой 16, с прикрепленной к нему линейкой 17, На валу

18 закрепленa также шайба 18 с выступами.

Внутри первого вала соосно с нпм проходит второй полый вал 19, на верхнем конце которого укреплена шестерня 20, находящаяся в зацеплении с рейкой 6. Вал 19 проходит через вакуумный ввод 21 в диске 15. К нижнему концу этого вала приварен диск 22 с деОя лениями на периферийной части. Внутри второго полого вала через вакуумный ввод 23, размещенный в диске 22, соосно с ним проходит третий вал 24, на верхнем конце которого укреплена шестерня 25, которая может находиться в зацеплении либо с рейкой 11, либо с шестерней 3. На нижнем конце вала 24 укреплен диск 2б с делениями на периферийной части. Вакуумный ввод (4 с резиновой прокладкой прикреплен к стенке рабочей камеры с,помощью гайки 27. г1а выступ ввода опирается стакан 28 с рукоятками 29. К стакану 28 прикреплен стакан 80 с двумя пазами и отверстием. На наружной поверхности ста кана 30 имеется резьба. На стакан навпнчена шайба

И с кана вкой и рукоятками 82, в которую входят выступы шайбы, npoxoIÿnn!å через пазы стакана 30.

Вакуумные вводы 14, 21 и 23 конструктизно выполнены одинаково и состоят из деталей (корпуса, нажимной .гайки, шайбы, фторопластовой втулки, резиновой прокладки), отличающихся лишь геометрическими размерами.

Продольными перемещениями назовем перемещения вдоль направляющих 4, поперсч25 ными — перемещения вдоль направляющих 7 и вертикальными — перемещения вдоль оси системы коаксиальнь1х валов 18, 19 и 24.

Внутренний вал 24 может перемещаться относитель1но всех остальных деталей коордннатника в вертикальном направлении.

Для перемещения опоры 2, а следовательно,,и стола 1 в продольном направлении вал

24 смешается вниз. Тем самым шестерня 25 вводится в зацепление с рейкой 11. Вращение шестерни 25 обеспечивается вращением диска

2б. При этом рейка 11 перемещается в продольном направлении, а прикрепленный к рейке ползун 12 .перемещает опору 2 со столом 1 в том же направлении (независимо от положе40 .ния ползуна в пазу опоры).

Попереч ное перемещение предметного стола 1 обеспечивается вращением диска 22. При этом рейка б, находящаяся в зацеплении с шестерней 20 и жестко скерпленная с недвижной рамой 5, перемешает раму, а также опору 2 и стол 1 в поперечном направлен ни.

Вертикальное перемещение несущей платформы 9, а следовательно, и предметного стола обеспечивается вращением шайбы 81.

Помимо поступательных перемещений можно осуществлять, порознь вращение несущей платфорлы 9 и вращение стола 1. Вращение несущей платформы 9 осуществляется ,вращением стакана 28. Для вращения стола 1 вокруг его оси вал 24 смещается вверх, и шестерня 25 вводится в зацепление с шестерней

3. После этого вращение стола 1 обеспечивается вращением диска 2б.

Beëè÷è íà продольных, поперечных и вращательных перемещений отсчитывается по делениям, нанесенным на соотвстспвуюшие диски. Величины вертикальных перемещений определяются с помощью линейки 17.

Предмет изобретения

Микроманипулятор, несущая платформа которого жестко связана с коаксиальными вакуумными вводами, перпендикулярными плоскости платформы, и несет направляющие, подвижную опору с зубчатой рейкой и предметный стол с шестерней, отличаюи,ийся тем, что, с целью повышения универсальности путем выполнения стола с дополнительными степенями свободы, он снабжен третьим коаксиальным валом с шестерней, вводимой поступательным перемещением в зацепление с шестерней, закрепленной на оси предметного стола, установленного на подвижной опоре, направляющие которой жеспко закреплены на раме, перемещающейся по направляющим, перпендикулярным направляющим опоры, и жестко закреплены на несущей платформе или с зубчатой рейкой, входящей своим ползуном в паз опоры.

363578

Корректор Е, Зимина

Редактор Т. Ларина

Заказ 25/279 Изд. № 1060 Тираж 404 Поди..сиоп

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-З5, Раушская наб., д. 4/5

Тнп. Харьк. фил. пред. «Патент»

Составитель В. Тупицына

Техред Т. Миронова

1 Z

/ !