Всесоюзная1в. ф. миусков, а. в. миренский и ю. н. шилинбюро института кристаллографии ан сссрnatektho-tcxihfvegkal
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТ ЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
362233
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено )07Л.1969, (М 1291381 26-25) с присоединением заявки №
М. Кл. G Оlп 23/20
Заявители Институт кристаллографии АН СССР и Специальное конструкторское бюро института кристаллографии АН СССР
РЕНТГЕНОВСКАЯ КАМЕРА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ
ДЕФЕКТОВ КРИСТАЛЛОВ
Изобретение предназначено для исследования или контроля распределения дефектов внутри кристаллов без их разрушения и может найти применение при изучении различных кристаллов, в особенности кристаллов полупроводников и кристаллов, используемых в квантовой радиоэлектронике.
Известны приборы для исследования р аспределения дефектог, в кристаллах теми или иными рентгенодифракционными методами—
Л анга, Бор мана, монохроматического пучка, отраженного от одного или нескольких кристаллов — монохроматоров. Однако развитие рентгснографических методов исследования кристаллов потребовало создания нового прибора, который позволил бы исследовать один и тот же кристалл на одной установке различными методами, то есть более полно выявить картину распределения дефектов кристалла и повысить точность установления степени совершенства кристалла. Указанная цель достигается с помощью прибора, который позволяст проводить исследования одного и того жс образца кристалла различными методами — методами Ланга, Бормана и монохроматичсского пучка без переюстировки исследуемого кристалла на приборе, что дает возможность получать сопоставимые данные как о распределении дефектов кристалла по
1
2 его поверхности и объему, так и о количественных характеристиках этих дефектов.
Конструктивное выполнение прибора представлено на чертеже.
Пучок рентгеновских лучей, излучаемый острофокусной трубкой, после формирования щелевым коллимирующим устройством 1 и кристаллом-монохроматором 2 попадает на
10 исследуемый кристалл 8. Исследуемый кристалл закреплен в гониометре-кристаллодержателе 4, который имеет две оси вращения.
Одна из осей параллельна пучку рентгеновских лучей (интервал вращения 360 ), а дру1S гая — перпендикулярна этому пучку (интервал вращения 1-5 ) . Дифрагированный от исследуемого кристалла рентгеновский пучок регистрируется детектором излучения 5 (счетчик излучения или кассета с фотопленкой).
20 Сканирующее устройство б сообщает гониометру-кристаллодержателю возвратно-поступательное движение в направлении, перпендикулярном первичному пучку, и колебательное движение вокруг оси главного гониометра
25 (качание кристалла) .
Главный гониометр 7 с устройствами, которые он несет на себе, размещен на поворот. ном столе 8 с возможностью радиального перемещения, а держатель кристалла-монохро30 матора установлен на оси стола.
362233
Предмет изобретения
Составитель И. Петрова
Техред Л. Богданова
Редактор Н. Коган
Корректоры: О. Тюрина и Л. Чуркина
Заказ 226/2 Изд. № 1001 Тира>к 404 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-З5, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Рентгеновская камера для исследования дефектов кристаллов, содержащая главный гониометр, на котором смонтированы коллимирующее устройство, гониометр-кристаллодержатель исследуемого образца, сканирующее устройство, шторная щелевая диафрагма и детектор излучения, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности количественного определения характеристик дефектности кристаллов, главный гониометр размещен на по5 воротном столе с возможностью радиального перемещения, а камера снабжена кристалломмонохроматором, держатель которого установлен на оси стола.
