Способ соединения стекла с металлом
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
357I71
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 10.1Ч.1971 (№ 1644273/29-33) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 31.Х.1972. Бюллетень № 33
Дата опубликования описания 25.1.1973
М, Кл. С 03с 27/04
Комитет ло делам иаойретений и открытий ори Совете Министров
СССР
УДК 666.1.037.5(088.8) Автор изобретения
Л. А. Кабанова
Заявитель
СПОСОБ СОЕДИНЕНИЯ СТЕКЛА С МЕТАЛЛОМ
Изобретение относится к вакуумным микроприборам и интегральным схемам.
Известен способ соединения стекла с металлом путем спаивания с предварительным остекловыванием металла.
Цель изобретения — повысить адгезию стекла к металлу, а также надежность и долговечность спая.
Достигается это тем, что на поверхность металла сначала наносят пленку титана, затем— пленку окиси кремния, после чего — слой стекла и осуществляют оплавление его, например, в инертной, восстановительной атмосфере.
В качестве атмосферы может быть применен водород или аргон.
Нанесение слоев титана и SiO производят путем последовательного напыления в вакууме. Наносят стекло методом осаждения сублимационных частиц стекла в центрифуге.
5 Предмет изобретения
Способ соединения стекла с металлом путем спаивания с предварительным остекловыванием металла, отличающийся тем, что, с целью
10 повышения адгезии стекла к металлу, а также надежности и долговечности спая, на поверхность металла сначала наносят пленку титана, затем — пленку окиси кремния, после чего — слой стекла и осуществляют оплавле15 ние его, например, в инертной, восстановительной атмосфере.
