Патент ссср 355758

Авторы патента:

H05K3 - Способы и устройства для изготовления печатных схем (фотомеханическое изготовление текстурированных поверхностей или поверхностей с рисунком, материалы и оригиналы для этого, аппаратура, специально предназначенная для этого, вообще G03F; использование для изготовления полупроводниковых приборов H01L)

H01L21/304 - механическая обработка, например шлифование, полирование, резка

О П И С А Н И Е 355758

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Goes Советскин

Социалистическин

Республин

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 04.1.1971 (№ 1615308/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 16.Х,1972. Бюллетень № 31

Дата опубликования описания 22.I,1973

ËI. Кл. Н 05k 3, 00

Комитет по делам изобретений и открытий лри Совете Министров

СССР

УДК 621.921.34.025 (088.8) E. С. Денежкин и И. H. Ширяева

11АТЕМТ..0,;,„Г. „;-..

Авторы изобретения

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕЗКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПОДЛОЖЕК

Изобретение относится а< технологии изготовления радиоэлектронното оборудования.

Известно устройство для резки полупроводниковых подложек, содержащее координатный стол с расположенной на нем кареткой продольного перемещения с поворотным столом и узлом для размещения и фиксации подложек, узел настройки и режущий инструмент.

Цель изобретения вЂ” повышение производительности устройства. Достигается она тем, что предлагаемое устройство снабжено сменными копирными гребенками, пазы которых взаимодействуют с подпружиненным фиксатором, связанным с кареткой. Гребенки закреплены на салазках с микрометрическими винтами, на каждом из которых закреплена шестерня, взаимодействующая с узлом настройки.

На фиг. 1 изображена кинематическая схема устройства; на фиг. 2 вЂ” конструкция координ атного стола, Устройство состоит из алмазного стеклореза

1, закрепленного в шарнирной опоре 2, каретки 8, .совершающей возвратно-поступательное движение от электродвигателя 4 через червячный редуктор 5, однооборотную муфту б, водило 7 и шатун 8, системы рычагов 9 для от.вода стеклореза от подложек на холостом ходу, координатного стола 10.

На координатном столе смонтирована каретка продольного перемещения 11. На вертикальной оси в верхней части каретки закреплен поворотный стол 12, который может за5 нимать два фиксированных положения вЂ” О и

90, что обеспечивает разворот изделия для продольного и поперечного резов. На столе смонтирован узел 18 для размещения и фиксации изделий, разворачивающийся с помощью

10 винта 14 и пружины 15 на угол+4 для установки изделия по визирной линии окулярного микрометра микроскопа (на чертеже не показан). На боковой поверхности стола в направляющих типа «ласточкин хвост» установлены

15 двое салазок 1б, перемещающихся в продольном направлении микрометричеокими выводами 17 и 18, связанными через зубчатую муфту 19 с рукояткой узла настройки 20. На салазках с помощью двух базовых штифтов

20 устанавливают сменные копирные гребенки 21, 22 продольных и поперечных резов соответственно с пазами под фиксатор 28. Шаг гребенок соответсгвует размеру микросхемы. Фиксатор смонтирован в механизме 24 каретки.

25 Устройство работает следующим образом.

Перед резкой подложек координаты подложки совмещают с визирной линией окулярного микрометра микроскопа. Для этого изделие разворачивают винтом 14 и перемещают

30 в продольном направлении рукояткой узла на355758 стройки 20 при фиксированном положении каретки ll в пазу копирной гребенки.

Перемещение по шагу подложки происходит в результате продольного движения каретки пю пазам копирных гребенок. При продольной резке каретка движется по пазам гребенки 22.

Для поперечных резон каретку закрепляют в пазу гребенки 28, а стол поворачивают на 90 .

Предмет изобретения

Устройство для резки полупроводниковых подложек, содержащее координатный стол с расположенной на нем кареткой продольного перемещения с поворотным столом и узлом для размещения и фиксации подложек, узел настройки и режущий инструмент, отличаю5 и ееся тем, что, с целью повышения производительности, оно снабжено сменными копирными гребенками, пазы которых взаимодействуют с подпружиненным фиксатором, связанным с кареткой продольного перемещения, 10 причем гребенчуки закреплены на салазках с микрометрическими винтами, на каждом из которых закреплена шестерня, взаимодейст.вующая с узлом настройки.

355758 фиа. 2

Корректор О Тюрина

Редактор Б. Федотов

Заказ 259/4 Изд. № 1815 Тираж 406 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская паб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Составитель Е. Куликов

Техред А. Камышникова