Способ получения стеклянной пленки на подложке
355Ц4
О П И С А Н И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 15.II.1971 (№ 1629522/29-33) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 16.Х.1972. Бюллетень № 31
Дата опубликования описания 21.XI.1972
М. Кл. С 03с 17/00
С 23с 13/04
Квинтет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 666 1 053 055 (088.8) Авторы изобретения
Э. А. Лебедев, Ю. Г. Замотайлов, А. И. Черныш0в.. и К. А. Лаврентьев ВСЕСОЮЗНАЯ
ПАТЕНТ..., ...ЧЕС1 -АЯ библиотека МЬА
Заявитель
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СТЕКЛЯ ННОЙ ПЛЕНКИ
НА ПОДЛО)ККЕ
1„
Изобретение относится к технике получения тонких стеклянных пленок и может быть использова|но в приборостроении.
Известен способ получения стеклянных пленок на подложке, заключающийся в смешении 5 с органическим растворителем стеклообразующих окислов, нанесении на подложку с последующим нагревом до температуры размягчения.
С целью повышения качества покрытий 10 стеклообразующие компоненты используют в виде чистых элементов, которые перед напылением на подложку переводят в окислы в кислородной плазме.
На чертеже показана схема нанесения по- 15 крытий.
В корпусе 1 размещены по сфере катоды 2, 8, 4, в центре сферы находится подложка 5, Катоды выполнены из чистых элементов, например, Pb, Si, окислы которых входят в состав стекла. При помощи ионизаторов 6 кислород ионизируется. Ионы кислорода бомбардируют катоды 2, 8, 4, взаимодействуют с распыляемыми с катодов атомами, образуя на подложке 5 стекло.
Предмет изобретения
Способ получения стеклянной пленки;на подложке путем нанесения на нее стеклообразующих окислов с последующим нагревом их до температуры стеклообразования, отличаюи ийся тем, что, с целью повышения качества ,покрытии, нанесение стеклообразующих окислов осуществляют путем напыления в вакуумной камере с предварительным окислением чистых элементов в кислородной плазме.
Редактор И, Квачадзе
Составитель С. Орлова
Техред А. Камышникова
Корректоры: Т. Медведева и E. Усова
Заказ 3681/12 Изд. № 1497 Тираж 406 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
