Способ травления кремния

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИУ

М АРТОРСКОМУ СВМДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 26 1.1971 (¹ 1623165/23-26) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 10Х111.1973. Бюллетень № 33

Да)а опубликования описания 28.Х11.1973

М. Кл. С 01Ь 33/02

С 23f 1/00

1осударственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

> ДК 540.28-121:621.79.

025.4 (088.8) Авторы изобретения

Р. Н. Щербиеиеееа, A. К. Прушинский и В. Н. Кимарский

Заявитель

СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ

Изобретение относится к травле;еию полупроводников, в частности кремния, и моекст быть использовано для травления кремния приборов на его основе, например, кремн,lcвых интегральных схем.

Известен способ травления кремниевых пласт)ее), ориснтироваьпеых в плоскости (100). в смеси пропилового спирта (35 вес. %) и воды с добавкой 24 — 26 вес. % гидроокиси калия при температуре 66 С.

С целью увеличения скорости травления уменьшения подтравливания под окисную плееее,у, ееанесе еную на поверхность кремния, для травления используют верхнюю фазу двухфазной системы, образj&xfoff азеотропной

c)IecIIo прошелового спирта и воды с добапI oil 1 — 2 вес. % ечерроокис,ккали, и травл.ние,ведут прп кипении.

Это обеспечивает увеличение скорости травлекпея в 3 — 4 раза и уменьшеиине подтравливания окисной пленки.

Пример. В качвстве исходных материалов используют кристаллическую гидроокись калия марки «ХЧ», пропиловый спирт марки

«ХЧ» Il,деионизированную воду. Взяв

71,7 вес. % пропилового спирта и 28,3 вес. % воды, получают азеотропную смесь, в которо .

p3cTBopsIIoT 1 — 2 вес. % кристаллической гидроокиси калия.

В результате оорззуется двухфазная система, верхнюю фазм которой отделан)т с помощью делительиои воронки и Ilcffoльзу от для травления.

В приготовленном травителе пр:I температуре кипения травят 3 -ооразные разделительные канавки в пластинах кремния, ориеиперованных в плоскости (100) кремниевых тегральных схем. Скорость травли ния 0,9— ео 1 0 лекле/лия в сравнении с 0 " лекл /ипн ио известному способу.

Подтравливание угла по сторон; и от в:ршины составляет соответственно 1, — 22 лк ле и 9 — 11 лекле в сравнении с 20 — -30 якле и 18—

15 20 лелле по извест)1охеу способу. 11одтравлиьание окисла по периметру линий составля т

0,5 — 0,7 лекле I)o cj)al)ffelffflo с 2,0 — 1,5 лекле по известному способу.

Предлагаемый спосоо 1103I)oл:lcT увеличить

20 плотность элементов интегральных схем, уменьшить их размеры и повысить производительность труда.

Предмет изобретения

Способ травлениее hj)c)III!IH B c)lccff 11j)07IIIлового спllðòà, воды и е.еедроокиси калия прfl повьпиеииой Tcмтсратуре, огяпчаюпшйся тем, что, с целью увелеичеиия скорости травления

30 и уменьшения подтравливания под окисную

352539

Составитель В. Безбородова

Тс>; рсд T. Курил ко

Коррск гор Л. Чуркина

Редактор E. Левина

Заказ 3455i2 Изд. № 876 Тираж 523 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 пленку, нанесенную на поверхность кремния, для травления используют верхнюю фазу двухфазной системы, образуемой азеотропной смесью пропилового спирта и воды с добавкой 1 — 2 вес, о>>о гидроокиси калия, и травление ведут при кипении.