Устройство для контроля температуры на поверхности объектов

ОГ)ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИ

346596

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства М

Заявлено 11.1.1971 (№ 1610153!18-10) с присоединением заявки М

Приоритет

Опубликовано 28.V11.1972. Бюллетень № 23

Дата опубликования описания 22Х111.1972

М. Кл. С 011 5/12

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 536.5(088.8) Автор изобретения

Э, П. Исаев

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ -КОНТРОЛЯ ТЕМПЕРАТУРЫ

НА ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТОВ

Настоящее изобретение относится к средствам неразрушающего контроля с помощью инфракрасной техники, в частности, температуры поверхности изделий.

Известны устройства для контроля темпсратуры на поверхности объектов, содержащее двухкоординатный предметный стол, блок управлсния движением стола, блок преобразования инфракрасного излучения объекта в электрический сигнал, а также блоки усиления, измерения и регистрации упомянутого сигнала.

Применение таких устройств сопряжено с большой трудоемкостью и малой производительностью, особенно в случае контроля в точках на поверхности микросхем со сложной топограммой. Кроме того, эффективность контроля снижается неточностью и субъективностью введения поправок, осуществляемого вручную.

Для повышения точности и производительности измерений предлагаемое устройство снабжено сумматором, включенным между блоками измерения и регистрации, запоминающим блоком, подключенным к сумматору, дешифратором поправок, включенным на вход запоминающего блока поправок, запоминающим блоком топограмм, включенным на вход дешифратора поправок, и дешифратором текущих координат, ко входу которого подключен блок управления движением стола, а,к выходу — запоминающий блок топограмм.

На чертеже показана блок-схема описываемого устройства, содержащего контролируемый объект 1, расположенный на двухкоординатном предметном столе 2, оптико-механический блок 8, преобразующий инфракрасное излучение объекта 1 в электрический сигнал, 1п блок усиления 4, связанный с блоком 3, блокизмерения 5, связанный с блоком 4, блок б управления движением стола 2, дешифратор

/ текущих координат, связанный с блоком б, запоминающий блок 8 тонограмм, связанный

15 с дешифратором 7, дешифратор 9 поправок, связанный с блоком 8, запоминающий блок 10 поправок, связанный с дешнфратором 9, сумматор 11, связанный с измерительным блоком

5 и блоком 10, и блок регистрации 12, связан20 ный с сумматором 11.

Перед началом измерений производится калибровка блока усиления 4 и блока измерения 5 методом сравнения инфракрасного излучения конкретных материалов н «абсолют25 но черного тела» при одинаковой температуре.

Температура контролируется с помощью контактных датчиков (на чертеже не показа (ы) и выбирается в середине предполагаемого 1:абочего диапазона контролируемого объекта.

З0 Разность в показаниях измерительного банка

346596 -г !

1 (,) !

Составитель М. Фримштейн

Техред Л. Богданова

Редактор С. Хейфиц

Корректор Е. Михеева

Заказ 2486/1 Изд. № 1067 Тираж 406 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, К-35, Раушскап наб., д. 4/5

Типографии, пр. Сапунова, 2 (поправка) для каждого конкретного материала вводится вручную (сигнал К) в блок 10.

Перед началом измерений также производится кодирование конкретной топограммы поверхности объекта графическим методом наложения координатной сетки с постояншим шагом, равным расстоянию между отдельными измеряемыми точками на поверхности по двум, взаимноперпендикулярно координатам.

Соответствующий код (Т) вводится вручную в блок 8.

Введенные поправки и закодированная топограмма сохраняются в запоминающих блоках до конца измерений одного объекта или целой партии объектов с одинаковой топограммой (например, однотипных микросхем).

После подготовленных операций начинается собственно процесс измерений, происходящий следующим образом. Инфракрасное излучение каждого элемента разложения контролируемого объекта 1, перемещаемого по двум взаимноперпендикулярным координатам с помощью двухкоординатного предметного стола

2, преобразуется в электрический сигнал, усиливается далее блоком 4 и измеряется в блоке б. Блок управления 6 вырабатывает сигналы текущих координат контролируемой точки, поступающие одновременно на исполнительные механизмы предметного стола 2 и на вход дешифратора 7. Дешифратор 7 управляет блоком 8 так, что в момент совпадения текущих координат контролируемой точки с координатами точки в закодированной топограмме блок 8 вырабатывает сигнал, означающий наличие в плоскости контролируемой точки того или иного материала.

Этот сигнал поступает далее на вход дешифратора 9, выдающего сигнал управления в блок 10 поправок, который производит выборку соответствующей поправки. Сигнал поправки попадает далее в сумматор 11, где производится сложение измеряемого сигнала с соответствующей величиной поправки. Искомая величина сигнала поступает далее в блок

12, где производится регистрация величины

10 истинной температуры контролируемой точки объекта в относительных (условных) единицах.

15 Предмет изобретения

Устройство для контроля температуры на поверхности объектов, содержащее двухкоординатный предметный стол, блок управле шя движением стола, блок преобразования инфракрасного излучения объекта в электр:ческий сигнал, а также блоки усиления, измерения и регистрации упомянутого сигнала, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и производительности измерений, оно снабжено сумматором, включенным между блоками измерения и регистрации, запоминающим блоком, подключенным к сумматору, дешифратором поправок, включенным на вход запоминающего блока поправок, запоминающим блоком топограмм, включенным на вход дешифратора поправок, и дешифратором текущих координат, ко входу которого подключен блок управления движением стола, а к выходу — запоминающий блок топограмм.