Способ электролитического меднения

Авторы патента:

C25D3/38 - меди

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

346393

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 18.Ч.1970 (№ 1440222/22-1) с присоединением заявки №

Приопитет

Опубликовано 28.Ч11.1972. Бюллетень ¹ 23

Дата опубликования описания 22.VI II.1972

М, Кл, С 23Ь 5/20

Комитет оо делам изобретеиий и открытий ври Соевтв Министров

СССР

УДК 621.357.7:669.387 (088.8) Авторы изобретения

P. И. Шмоткина, Л. И. Ковыляева, H. М. Кочанкова, Т, Б, Мунина и Л. М. Лакеева

Заявитель

ВГ -Г:

СПОСОБ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОГО МЕДНЕНИЯ

Предмет изобретения

Изобретение относится к области нанесения гальванических покрытий, в частности к области электролитического изготовления в производстве микросхем, полупроводниковых приборов и т. д.

Известен способ меднения из электролита на основе сернокислой меди с добавками сульфокислот.

Предложенный способ отличается от известного тем, что в состав электролита вводят сульфаминовую кислоту при определенном соотношении компонентов и осаждение ведут при рН 1,2 вЂ” 2,2, плотности тока 1 вЂ” 5 а/дм и комнатной темпер атуре, что позволяет получать ненапряженные, мелкокристаллические и эластичные осадки с хорошей адгезией к вакуумнапыленным слоям.

Способ заключается в том, что осаждение ведут из электролита, содержащего сернокислую медь и сульфаминовую кислоту при следующем соотношении компонентов, г/л:

Сернокислая медь 150 вЂ 3

Сульфаминовая кислота 3 вЂ” 20 при рН 1,2 вЂ” 2,2, плотности тока 1 вЂ” 5 а/для и комнатной температуре.

Электролит готовят путем смешивания раствора сернокислой меди с раствором сульфаминовой к ислоты и фильтрования.

Корректирование раствора производят

1 раз в 2 вЂ” 3 месяца путем добавления 1 вЂ” 2 г/л сульфаминовой кислоты, Указанная концентрация сульфампновой кислоты в электролите обеспечивает наилучшую адгезию осадков меди к подложке, имеющей высокий класс чистоты (12 вЂ” 14 класс), что определяется требованием к микросхемам.

В других случаях концентрация сульфаминовой кислоты может быть повышена до 50 г/л.

Скорость осаждения меди в данном электролите 0,4 мкм/мин, выход по току на стан10 100%, на ситалловой плате вЂ” 80%. Адгезия наращенного предлагаемым способом слоя меди, нанесенного на вакуумнапыленный слой меди по подслою хрома на ситалле, измеренная граммометром, 15 составляет 200 вЂ” 250 г/лиР (на сдвиг)., Способ электролитического меднения из

20 кислого электролита на основе сернокислой меди с добавками сульфокислот, отличаю циися тем, что, с целью получения ненапряженных, мелкокристаллических и эластичных осадков и повышения адгезии к вакуумнапы25 ленным слоям, в состав электролита вводят сульфаминовую кислоту при следующем соотношении компонентов, г/л:

Сернокислая медь 150 вЂ 3

Сульфампновая кислота 3 вЂ” 20

30 и осаждение ведут при рН 1,2 вЂ” 2,2, плотности тока 1 вЂ” 5 а/дмз и комнатной температуре.

Похожие патенты:

Патент 344026 // 344026

Электролит блестящего меднения // 342944

Электролит меднения // 333221

Способ получения самосмазывающихся гальванических покрытий // 331120

Электролит для меднения стали // 326252

Электролит меднения // 316751

Способ электрохимического меднения // 313900

Электролит медненияесг.зоюсная^nat:k:f;o ux^iit'haql'^lw./iotena ! // 295823

Электролит меднения // 294868

Р п п п '•' п п •" п т п di фи:щ o^.^valfiud // 293875

Электролит блестящего меднения // 2103420

Изобретение относится к области гальваностегии, в частности к нанесению медных покрытий на сталь без промежуточного подслоя и может быть применено в машиностроении и приборостроении для получения пластических медных покрытий с минимальным наводораживанием стальной основы

Электролит меднения // 2113553

Изобретение относится к области гальванотехники, в частности получению электролитических компактных гладких и блестящих или матовых покрытий медью и ее сплавами, а также гальванопластических изделий из них

Способ получения медных фосфорсодержащих электролитных анодов // 2122048

Изобретение относится к области цветной металлургии, в частности, к электролитическому способу получения медных фосфорсодержащих анодов из отходов меди (вторичного сырья)

Электролит для осаждения покрытия на основе меди // 2135646

Изобретение относится к области гальваностегии, в частности, к электролитическому осаждению медных покрытий

Раствор для контактного меднения тугоплавких металлов // 2166560

Изобретение относится к области нанесения металлических покрытий, в частности к составам растворов для контактного меднения тугоплавких металлов, например циркония и его сплавов, и может быть использовано для нанесения технологической подсмазки при волочении

Водный электролит блестящего меднения // 2175999

Изобретение относится к гальваностегии, в частности к нанесению блестящих медных покрытий на сталь без промежуточного подслоя

Электролит блестящего меднения // 2179203

Изобретение относится к гальваностегии, в частности к нанесению блестящих медных покрытий на сталь без нанесения промежуточного слоя

Электролит для нанесения медного покрытия // 2185463

Изобретение относится к гальваностегии, в частности к нанесению медных покрытий, и может найти применение в различных отраслях промышленности

Электролит блестящего меднения // 2194097

Изобретение относится к гальваностегии, в частности к нанесению медных покрытий на сталь без применения промежуточного слоя

Электролит блестящего меднения // 2194098