Всесо ознаяnattiiviio ;j;i=r;;l.hajiбчблио :f;i4a
341741
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социзлистплес:t;ux
Республик
Зависимое от авт. свидетельства У
Заявлено 11 V.1970 (Ko 1437183/28-12) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 14.VI.1972. Бюллетень Х 19
Дата опубликования описания 7ХП.1972
М. Кл. В 65h 75/16
Комитет Il0 делом изобретеиий и открытий при Совете слииистров
СССР
УДК 621.797(088.8) Авторы изобретения
П. H. Маслен
Заявитель
КОМПЛЕКТ ДЛЯ ХРАНЕНИЯ И ТРАНСПОРТИРОВКИ
СВЕТОЧУВС1 ВИТЕЛЬНЬ1Х ЭЛЕМЕНТОВ
Изобретение относится к полупроводниковой промышленности и предназначено для хранения и транспортировки кассет со светочувствительными элементами.
Известен комплект для хранения и транспортировки светочувствительных элементов, состоящий из контейнера и кассет, причем контейнер выполнен в виде ящика с крышкой, куда укладываются кассеты с поперечными пазами, в которых экспонируемые пластины располагаются вертикально.
В процессе разгрузки кассет из контейнера на рабочее место возможна засветка светочувствительных пластин, подача которых непосредственно на операцию экспонирования осуществляется с помощью пинцета. При этом наблюдаются механические повреждения фоторезиста. Кроме того, в процессе проведения технологических операций необходима перегрузка кассет из одного контейнера в другой, что требует дополнительных комплектов на рабочем месте.
Целью изобретения — устранение указанных недостатков — достигается за счет того, что контейнер выполнен разъемным в виде двух взаимозаменяемых лотков.
На фиг. 1 изображен предлагаемый комплект, общий вид; на фиг. 2 — комплект во время рабочей операции.
Комплект включает в себя контейнер, состоящий из двух лотков 1 и 2 и кассет 8.
Каждый лоток снабжен ручкой 4 и четырьмя ножками 5, прикрепленными к внешней стороне днища для первого лотка и крышки для второго лотка. Кассеты имеют гнездо б для светочувствительных пластин и светозащитную крышку 7.
Кассеты с пластинами устанавливаются в один из лотков контейнера. Затем они закрываются другим лотком, служащим крышкой.
В таком виде контейнер транспортируется на рабочее место.
На рабочем месте лотки размыкаются и верхний лоток устанавливается на ножки рядом с нижним. Кассеты с пластинами поочередно подают на технологическую операцию (экспонирование), после выполнения которой кассеты с нижнего лотка перекладывают в свободный бывший верхний лоток.
20 Вновь собранный контейнер транспортируется на следующую технологическую операцию.
Предмет изобретения
Комплект для хранения и транспортировки
2s светочувствительных элементов, состоящий из контейнера и кассет, отличающийся тем, что, с целью повышения удобства в работе и исключения засветки светочувствительных элементов, контейнер выполнен разъемным в
Зо виде двух взаимозаменяемых лотков.