Зондовое устройство для контроля электрических параметров интегральных схем
ОПИСАНИЕ 34И86
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
М. Кл. H 05k 7/14
Заявлено 27.1Ч.1970 (№ 1434296/26-9) с пр;исоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 05.Ч1.1972. Бюллетень M 18
Дата опубликования описания 27Ч1.1972
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.317.799:621:
:382(088.8) Авторы изобретения
А. С. Карачун, В. И. Виноградов, Н. И. Жинь, В. Ф.-Масленков и В. Н. Богданов
Заявитель
ЗО НДО ВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ
ПАРАМЕТРОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
Изобрете ние относи тся к технологическому оборудованию электронной, промышленности. а и менно к зондо зь?м установкам для ?ооHTtpo;IH электричес?вид параметров интегральных схем, и может найти применение в технологичесском обо|рудовании для сборки интегралыных схем.
Извеат но зондовое устройство, состоящее из основания, подвижной головки с клином, при води мых в движени е электромапнитом.
Подвижная головка прижимается к клину пружиной. Клин в исходное положение отвод|ится пружиной. Ход клина ограни|чивается у порах?и. Направляющей для подвижной голо вки служит диафрагма. Одна?оо при подходе подвижной голов|ки в верхнее положение скорость са достигает максимальной вел илины, и в момент остановки mxleloT место значительные инерционные нагрузки, которые вызьпва ю т удары и вибрации. В результате этого не обеспечивается адежного ко нта кта зондов с контактными площадками конт1ролируемой схемы, увели чивается износ зондов и возмо>?оность повреждения KQIIITBKTIIblx площадок зо ндах?и.
Цель изобрете ния — повышение надежности ,устройства в работе.
Для этого в предлатаемох? устройстве механизь» подъев?а выполнен в виде качающегося рычага, один Ko?lel? которого .соеди1нея с основаегием, а другой, снабженный элементов? качения, напр и в?ер рол?оком, взаимодействует
lI;I0cKoicTbIo основания подвижной головки.
5 На чертеже изображен предлагаемое зонQoIBoe устройство, общ и й,вид.
У стройcTEQ содержит ос??ова ние 1, в направля?ощих 2 которо?го перемещается подв?икная го",ollIIKa Д, прижимасмая пртужиной 1
10 возврата к подвиж??ох?у концу рычага 5.
Последний прои помощи шарн ?? ра 6 соединен с основание1м и пр ивс дится в движение электромаг?п?етох? 7. Пру>?си ??а 8,воз вращает рычаг
;> в исходное положение. Величина хода под15 ви>к но?1 голов?ои. репулируется упором 9 и за,висит от угла отклонения рычага от вертикального,положения. Упор 10 ограничивает к онсч ное положение рычага во время подъема, которое должно быть строго вирт?скаль20 нысм (Zëx=0).
Под дейст вива? электромагнита 7 рь?чанг 5 поворачивается в шарни ре ?> и воздействует
??а,голоиу 3, перемещая ее в вернее поло25 жение. С корость головки во aipei»H подъема зависит on скор|ости я ко ря электрох?апн?? та, и величины угла а (от клоне ??ие рычага от верт икального п о.зожения) .
Так как при подъеме головк?? угол а изме30 цяется плов?1о,до пуля, то и скорость подьсма
341186
Предмет изобретения
Составитель Л. Рубинчик
Техред 3. Тараненко
Редактор T. Иванова
Корректор Л. Царькова
Заказ 1933/11 Изд. № 814 Тираж 448 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 подвижной голов ки плавно изме няепся от
MBIKGHIivI) B,Hà÷ààBIHûé момент движения до нуля в конечный момент, что практячески устраняет в м омент NOHTBIKпирова ния и нерционные нагрузки подвиж ной голо яки, вызывающие удары и вибрации, При от ключевии электромавнита 7 лружина 8 возвращает рычаг 5 в исходное положение, а подвижная голоака 3 пружяной 4 опускается в нижнее .положение.
Таии м образом, вибрация поп в иж ной 10лоBIKH пра,кт.ичеоки отсут сэвует, а частота срабатывания повышается в д ва раза.
Зондовое устрой ство для контроля электр ичесиих параметров интегральных схем, содер5 жащее основание, под вижыую подпрywmнeнную. головку и механизм подъема головки, управляе мый эле кт р омаынито1м, отличающееся тем„что, с целью повьвшения надежности устройства в работе, механизм подъема голов10 ки выполнен в виде качающегося рычата, оди н конец которого ша рнырно за кревле н в основании, а другой снабженный эле ме нтом качения, напр имер ролвком, взаимодейспвует с плоско стью основания подвижной голов1ки.
