Микроконтактный датчик для контроля толщины тонких покрытий и пленок
Ь. Я TЕ! т г,-. ч
ОТГИБАЙ И Е
339763
Союз Советских
Социалистических
Реслублик
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено I О.XI.1970 (№ 1490396/25-28) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 24.Ч.1972. Бюллетень № 17
Дата опубликования описания 17Х1.1972
М. Кл. 6 OIb 7/06
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.317,531.717.11 (088.8) авто p E>( изобретения
В, Т. Гарасимюк и В. И. Гевло
Заявитель
МИКРО КОНТАКТНЫЙ ДАТ 1 И К ДЛЯ КОНТРОЛЯ
ТОЛЩИНЫ ТОНКИХ ПОКРЫТИЙ И ПЛЕНОК
Изобретение относится к неразрушающему контролю материалов и изделий и может быть использовано для измерения толщины тонких пленок.
Известен микроконтактный датчик для .контроля толщины тонких покрытий и пленок, содержащий корпус из диэлектрика, микроэлектроды, жестко закрепленные на нем. Однако разрешающая способность этого датчика недостаточная, так как его электроды выполнены в виде двух коаксиально закрепленных цилиндров с зазором около 1 мл. Кроме того, технологичность конструкции известного датчика низкая ввиду того, что для его изготовления в микроминиатюрном исполнении требуется относительно большая затрата средств.
С целью повышения разрешающей способности корпус предлагаемого датчика выполнен из капролактана с полусферическим торцом, а микроэлектроды выполнены в виде четырех изолированных секторов, напыленных на полусферический торец.
Применение предлагаемого датчика позволяет значительно уменьшить расстояние между потенциальными и измерительными контактами и соответственно уменьшить диапазон контролируемых толщин металла.
На чертеже изображен предлагаехтый датчик.
Датчик состоит .из капролонового стержня
1, который свободно передвигается вдоль оси в капролоновой головке 2. Взаимно перпендикулярные канавки 3 образуют четыре омед5 ненные контактные площадки 4. Пружина 5 обеспечивает равномерное прижатие контактной головки к контролируемой поверхности металла. Провода б служат для подачи измеренного сигнала от электродов на схему
10 регистрации толщины.
Электроконтактный датчик работает следующим образом.
Стержень 1 приводится в соприкосновение
15 с металлом в исследуемой точке. После нажатия головки 2 вниз контактные площадки 4 медных электродов и торец головки 2 будут находиться в одной горизонтальной плоскости, что обеспечивает равносильное прижатие всех
20 четырех электродов-контактов к металлу по нормали. Измерительная пара контактов фиксирует при этом падение напряжения на исследуемом участке металла в зависимости от его толщины, и через провода б сигнал по25 дается на схему регистрации толщины металла.
Предмет изобретения
Микроконтактный датчик для контроля
30 толщины тонких покрытий н пленок, содер339763
А-А
Составитель А. Духаннн
Редактор В. Новоселова Техред Л. Богданова Корректор 3. Тарасова
Заказ 1771/1 2 Изд. № 740 Ти.раж 448 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4 5
Типография, нр. Сапунова, 2 жащий корпус из диэлектрика, микроэлектроды, жестко закрепленные на нем, отличаюи ийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности датчика, корпус выполнен из капролактана с полусферическим торцом, а микроэлектроды выполнены в виде четырех ,изолированных секторов, напыленных на полусферический торец.
