Зондовая головка

Авторы патента:

П. Н. Быков, В. А. Гуреев, А. Е. Волп нский, В. Т. Лозовой , В. И. Щипунов

Государственный научно исследовательский , проектный институт редкометаллической промышленности

H05K3 - Способы и устройства для изготовления печатных схем (фотомеханическое изготовление текстурированных поверхностей или поверхностей с рисунком, материалы и оригиналы для этого, аппаратура, специально предназначенная для этого, вообще G03F; использование для изготовления полупроводниковых приборов H01L)

G01R1/20 - Измерение электрических и магнитных величин (измерение физических величин любого вида путем преобразования их в электрические величины см. примечание 4 к кл. G01; измерение диффузии ионов в электрическом поле, например электрофорез, электроосмос G01N; исследование неэлектрических и немагнитных свойств материалов с помощью электрических и магнитных методов G01N; индикация точности настройки резонансных контуров H03J 3/12; контроль электрических счетчиков H03K 21/40; контроль работы системы связи H04)

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Сазетсеиз

Сеаиалистическиз

Реееубаии

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства МвЂ”

Заявлено 09.711.1970 (№ 1456863 26-9) М.Кл. Н 05k 3, 00

G 01г 27/02 с присоединением заявки ¹â€”

11азнпет аа деаею нзафретеннй и открытий ари Сонете Мииистрае

000Р

ПриоритетвЂ”

Опубликовано 21.111.1972. Бюллетень № 11

Дага опубликования описания 21.IV.1972

УДК 621.396.6-181.5 (088.8) Авторы изобретения

П. Н. Быков, В. А. Гуреев, А. Е. Волпянский, В. T. Лозовой и В. И. Щипунов

Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности

Заявитель

ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА

Изобретение относится к области измерения электрофизических свойств полупроводниковых материалов и предназначено для использования в зондовых датчиках для измерения удельного сопротивления германия и кремния контактными методами.

Известна зондовая головка, например, для измерения электрических параметров полупроводниковых материалов, состоящая из корпуса, зонда, выполненного в виде заостренного стержня, зондодержателя, токоп роводящего узла и штежкера

Цел ь изобретения вЂ” повышение точности измерения и обеспечение удобства в эксплуатации.

Для этого токоподводящий узел выполнен в виде насаженной на зонд втулки, на торцовую поверхность которой опирается конец упругоro стержня, другой конец которого расположен в радиальном отверстии штеккера.

Зондовая головка изображена на чертеже.

В корпусе 1 из изоляционного материала закреплены токоподводящие вилки 2 и зондодержатель 3. В зондодержателе 8 выполнены отверстия, в которые запрессованы .рубиновые подшипники 4. В подшипниках 4 установлены зонды 5, на которых укреплены токоподводяшие втулки б, выполненные из материала с малым удельным сопротивлением и высокой устойчивостью на истирание, например, меди.

Во втулках б выполнены прорези, в которые помещены токоподводящие пружины 7. На зондодержателе 8 закреплена насадка 8, выполненная из изоляционного материала.

Токоподводящий узел может быть выполнен в виде штеккера с радиальным отверстием, за крепленного в головке.

Соединение зондовой головки с измерительной схемой осуществляется с помощью токоподводящих вилок 2.

При проведении измерения удельного сопротивления зондовая головка приводится зонда ми 5 в соприкосновение с контролируемым ма..

15 териалом. Зонды 5, перемещаясь в рубиновых подшипниках 4, изгибают токонесущие пружины 7, которые создают давление зондов 5 на материал. Свободный конец пружины 7 скользит по прорези токоподводящей втулки 6, не

20 препятствуя прямолинейному перемещению зонда 5.

В то же время создается малое переходное сопротивление между токоподводящей втул25 кой б и токонесущей пружиной 7 Токонесущая пружина 7, находясь в прорези токоподводящей втулки 6, препятствует повороту зонда вокруг собственной оои, что увеличивает точность измерения при эксцентричной заточке

30 зонда.

Предмет изобретения б Л

Сося анап ель Н. Герасимова

Текред T. Ускова

Корректор Н. Коваленко

Редактор Л. Маауронок

Злказ 2272 Изд. ¹ 429 Тираж 448 Под писное

ЦНИИПИ К житета по делаеи .ивобретений и сткрыпий при Совете Минясправ СССР

Москва, Ж-35, Раушокая наб., д. 4ф

Областная типография Костромского управления по печати

Зондо вая головка, например, для измерения электрических параметров полупроводниковых материалов, состоящая из корлуса, зонда, выполненного в виде заостренного стержня, зондодержателя, токоподводящего узла и штеккера, отличающаяся тем, что, с целью повышенияточности измерения и удобства эксплуатации, токоподводящий узел выполнен в виде насаженной на зонд втулки, на торцовую поверхность которой опирается конец упругого стержня, другой конец которого расположен в радиальном отверстии штеюкера.