Устройство для измерения параметров тонких диэлектрических пленок
О П И С А Н И Е 329483
ИЗОБРЕТЕНИЯ
И ABTQPCKQA43 СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹, (1. Кл. С Olr 27/26
Заявлено 19Х.1970 (№ 1440286 26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Комитет по делам изобретений H открытий при Совете Министров
СССР
; ДК 621.3I7.768 (088.8) Опубликовано 09.11.1972. Бюллетень ¹ 7
Дата опубликования описания 3.11 .1972
> (1)то ) 1>1
I I30ápcтс и(гя
Г. В. Гессен, 1О. Г. Морозов и С. Л. Эин)ге))н
3 ая в(ггсл ь
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ТOHК11Х
ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК
Пре..гх!Ст изобретения
Изобретение относится к радиоэлектронной технике и может быть использовано в отраслях промышленности, выпускающих и использующих диэлектрические пленки.
Известные устройства для измерения параметров топких диэлектрических пленок, например диэлектрической проницаемости и таигсиса угла потерь, содержащие два элскт )0,13 C P3CIIOЛО)Ксивой . >IC)KДЪ Illl. >ill 13,1CPII мой пленкой, имеют невысокую точность измерения.
Целью изооретения является устранение этого Ilcдостатка.
Посгавлеииая цель достигается тем, что ра()0 3H поверхность одного из электродов покрыта слоем токопроводящей резины, à р3бочая поверхность другого выполнена в (j)ормс выпуклого шарового сегмента.
Иа чертеже представлена схема предлагаемого устройства.
Измеряемый образец пленки 1 помещен между нижним электродом, представляющим собой пластину 2 из токопроводящей резины, 33КРСПЛЕН1!>> 10 На ХIЕТ3ЛЛИЧЕСКОй ПОДЛО)ККЕ >)> и верхним металлическим электродом 4, рабочая поьерхиость которого имеет сферическую форму. Подложка помещается в паз изоляционной прокладки (), а верхии1! металли5 чески и электрод -I 3 ак1)е11 1еи па штоl с о, ии вер. !ем конце которо(0 уста)(овлсиа ру п(3 7.
Igil;IIl()pOi33IIII35I пруж !иа 8 0()C(исчпвает
I (. (, () . O. И Х1 ОС i !113 1 Ñ I I I I C )1 С Ж: IY ) 1 (. К 1 () () 1,;1 М И .
I1."С дСТ3;!и ((Гров Tll(i (. )! ()Ilти р013!пил 113 О. 10 и()1;аиии 9, У.тройство для )измерения пар;)метров тон15 ких диэлсктричсск)гх пленок, например диэлектрической Ilро)пщаемости и T3íãåíc3 угла иогсрь, содержап,ее 1в3 электрода с распо 10жеинои х!Сжд3 ними измерясмои плспкои, or.! uuaIoI!;eec» тсм, что, с целью повышения
20 точ)гост!! измерения, рабочая поверхность одного из электродов покрыта слоем токо)!роводящсй резины, и рабочая поверхность другого ! ыпо"!iic113 в (1юрмс вь)пмклого шарового ccrи е)!та.
32!)48 3
Составипсль Ю. Ерк»ц
Текред Л. Богданова
Коррск>ор E. Исакова
Рсдактор В. Левятов » l0> р>:>1>и». ир. С;и» нов;>
1аказ 856, 15 11зд. ¹ 34 краж 4"1>> Подписнос
1, 1!1!11П!1 li<>i»>c» ио дслак>:.зобрстении и от><ри>тиш ир;> Сонст,:>7»»ис>ро>в ГСГ!
>>!осана, j!>,.35. Ра шская ннб.,;>. 4 5
