Рентгеновский спектрометр
329454
Сома Советскиз
Социалистически/
Республик
ИЗОб РЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 26Х,1970 (№ 1444222126-25) М. Кл. С 01п 23!22
G 01t 1136 с присоединением заявки №
Приоритет
Комитет ло делам изобретений и открытий
Опубликовано 09.I 1.1972. Бюллетень № 7
Дата опубликования описания 11.IV.1972
УДК 535.853.225(088.8) ори Совете Министров
СССР.Авторы изобретения
Г. В. Бондаренко, Л. Б. Иванова и И. Г. Барков
Институт физики им. Л. В. Киренского
Заявитель
РЕНТГЕНОВСКИ и СПЕКТРСтМЕТР
Изобретение относится к физическим приборам для исследования вещества по элементному составу и может быть использовано для непосредственного измерения спектрального распределения излучения рентгеновской трубки.
В известных приборах для рентгеноспектрального анализа положение рентгеновской трубки и подавателя образцов фиксируется.
Это позволяет, в частности, определять поверхностную плотность (толщину) тонких пленок, используя стандарты, т. е. пленки известных толщин.
Предлагаемый рентгеновский спектрометр с устройством, осуществляющим поворот ооразца и рентгеновской трубки на заданные углы, позволяет определять поверхностпуто плотность пленок без стандартов, например, измерением отношения интенсивности флуоресценции от пленки и массивного образца из материала пленки при двух различных углах выхода излучения и сохранении угла падения первичных лучей на образец.
Такой способ измерения осуществим лишь в спектрометре, в котором одновременно и независимо поворачиваются как держатель ооразца, так и рентгеновская трубка.
На фиг. 1 показан предложенный спектрометр, разрез по А — А; на фиг. 2 — то же, разрез по Б — Б.
Кожух 1, в котором находится рентгеновская трубка 2, жестко соединен со щекой 3, подвижно связанной со втулкой 4, и со щекой
5, неподвижно соединенной с полуосью б. По5 луось б охватывается втулкой 7 и через зубчатую передачу, состоящую из зубчатого колеса 8 и вала-шестерни 9, соединена с рукояткой 10.
Для измерения угла падения первичны.;
1о рентгеновских лучей рентгеновская трубка 2 может поворачиваться вокруг оси Π— О„ при этом щека д скользит по втулке 4, а полуось б — по втулке 7.
Из вертикального положения трубка может повернуться по часовой стрелке до горизонтального положения и обратно, а также против часовой стрелки на 30 и обратно. 1 аким образом, рентгеновская трубка поворачивается относительно образца на 120 с помощью ру2р коятки 10 через вал-шестерню 9 и зубчатое колесо 8, жестко соединенное с полуосью 6.
После поворота трубка фиксируется фрикционным зажимом 11. Угол поворота трубки отсчитывается по лимбу, нанесенному на зуб25 чатое колесо 8.
Образец 12, вставленный в держатель 18, вместе с последним может поворачиваться вокруг оси Π— 0> на любой угол. Имеются фиксатор 14 угла наклона держателя и лимб 15
30 для отсчета углов поворота.
329454
Предмет изобретен ия
Составитель И. Петрова
Техред Л. Богданова Корректор T. Гревцова
Редактор T. Орловская
Заказ 855/15 Изд. № 233 Тираж 448 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская иаб., д. 4)5
Типография, пр. Сапунова, 2
При отсутствии образца излучение рентгеновской трубки, повернув ее в горизонтальное положение, направляют в коллиматор, следовательно, описанный спектрометр может быть использован для измерения спектрального распределения первичного излучения рентгеновской трубки.
Рентгеновский спектрометр, предназначенный для измерения поверхностной плотности плоских тонких пленок методом безэталонного рентгеноспектрального анализа, содержащий рентгеновскую трубку в кожухе, держатель образцов, кинематическую схему фокусировки и электрическую схему регистрации излучения, отличающийся тем, что, с целью расширения возможностей анализа, спектрометр снабзкеll щеками с жестко закрепленными в ННх кожухом рентгеновской трубки, подвижно сое10 днненными с основанием спектрометра через втулки, одна из которых неподвижно соединена через полуось, снабженную лимбом, с рукояткой, на оси которой установлен фиксатор.
