Теплоэлектрический манометрвсесоюзнаяnatehtho-texhliheckajl библиотека
325527
О П И С А Н И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 23.VII.1970 (№ 1461777/18-10) с присоединением заявки ¹
Приоритет
М. Кл. G 01 I 21 12
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 531 788 6(088 8) Опубликована 07.1.1971. Бюллетень № 3 за 1972
Дата опубликования описания 23.II.1972
Авторы изобретения
Л. Н. Розанов, Г. С. Комаишко и В, М. Лебедев
Ленинградский политехнический институт им. М. И, Калинина
Заявитель
ТЕПЛОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ МАНОМЕТР
Изобретение относится к теплоэлектрпческим манометрам, в частности к теплоэлектрическим манометрам с полупроводниковым чувствительным элементом, и может быть использовано при измерении давления в вакуумных системах. Верхний предел измерения этих манометров ограничен 10 — 30 л!.и рт. ст. и связан с независимостью теплопроводпостп газа от давления при более высоких давлениях.
В предлагаемом устройстве расширение верхнего предела измерений достигается тем, что манометр снабжен мембраной, разделяющей корпус па две полости, — рабочую и компенсациош1ую, в первой из которых размещена полупроводниковая нить, прикрепленна» одним концом к мембране, и другим — к электрическому контакту, а во второй — пружинный элемент, закрепленный одним концом с мембра1гой, а другим — co вторым электрическим контактом.
На чертеже приведена принципиальная схем а устр ой ств а.
Манометр содержит корпус 1, который разделен мембраной 2 на две полости — раоочую 8 и компенсационную 4, откачанную до сравнительного давления, полупроводниковую нить 5, токопроводящий пружинный элемент
6 и два электрических контакта — 7 и 8.
Нить прикреплена одним концом к мембране, друп1м — к электрическому контакту 7. Пруж1шный элемент закреплен одним концом с мембраной, а другим — с электрическим кон5 тактом 8.
В диапазоне давлешш 10 — 10 .!!.!! рт. ст. манометр работает как обычный манометр сопротивления: при повышении давления увеличивается тсплопроводность газового проме10 ж т! а ъ!ежд1 питью и корпусом, и lip!I no стояпцой мОщпостп электрического тока> Вы делясмой в нити, ее температура начинает уменьшаться, что фиксирует мостовая измерительная схема по пзменепшо сопротивления
15 пптп.
Прп более высоки.; давлениях, когда тепло-! роводность газа не зависит от давления и температура нити не меняется, используется
20 тензорезпстивнь!й эффект полупроводниковых материалов нити. В этом случае нить растягивается под действием разности давлений— постоянного сравнительного в полости 4 и переменного измеряемого — в полости 8. Из25 мененпе растягивающпх напряжешш в нити сопровождается изменением ее сопротивления, что аналогично изменению температуры и фиксируется той же мостовой измерительной схемой. Такой манометр позволяет измерять
30 давление от 10 " до 760 !!.!! рт. cr, 325527
Предмет изобретения (лставителн О. Полев
Техред А. А. Камышникова
Корректоры: А. Николаев» и Е. Ласточкина
Редактор А. Батыгин
Заказ 319, 3 Изд. Хз 51 Тираж 448 Под,писное
ЦНИ1!ПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, Hp. Сапунова, 2
Теплоэлектрический манометр, содержащий корпус, термочувствительный элемент, выполненный в виде полупроводниковой нити, и электрические контакты, отличглощайся тем, что, с целью расширения верхнего предела измерений, он снабжен мембраной, разделяющей корпус на две полости, — рабочую и компенсационную, в первой из которых размещена нить, прикрепленная одним концом к мембране, и другим — к электрическому контакту, а во второй — токопроводящий пружинный элемент, закрепленный одним концом с мембраной, а другим — со вторым электрическим контактом.
