Устройство для измерения электропроводноститонких пленок
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
322729
Юо1оз Соеетских социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 05.V.1970 (№ 1434919/18-10) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 30.Х1.1971. Б1оллетен1 № 36
Дата опубликования описания 9.11.!972
М. Кл. G Olr 27/00
Комитет па делам изобретений и открытий при Сосете Министрае ссср
УДК 621,317.343.2 (088.8) Авторы изобретения
В, И, Семенцов и В. Е. Прозоровский
Таганрогский радиотехнический институт
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ
ТОНКИХ ПЛЕНОК
Известные устройства для измерения проводимости тонких пленок в процессе их изготовления с помощью омметра или мостовой схемы, накладной;катушки, питаемой переменным током, или конденсаторного датчика, 5 требуют дополнителыных герметичных выводов в вакуумной установке для подключения измерительного прибора к датчику.
Предлагаемое устройство более проста по констру кции. Для его эксплy3T311ии не тре- 10 буются дополнительные, выводы из вакуумной камеры, так как датчик вы полнея в виде двух индуктивно связанных контуров, подключенных к генератору и вольтметру соответственно, расположен вне вакуумной каме- 15 ры и связан с третьим контуром, расположенным в вакуумной камере с контролируемой пленкой.
ГBoMeTPHH д3T IHK3 BhloP31I3 тйк11м oioP 3 1031, что напряжение на заукимах вольтметра рав- 20 но нулю, если измеряемая проводимость равна определенной, заранее выбранной, величине. При изменении проводимости вольтметр регистрирует напряжение, являющееся мерой измеряемой проводимости, 25
На ф и Г. 1 г10казапа схема датчпктl, сОстОящего из некоаксиальпых контуров; на фиг.2— схема датчика, состоящего пз коаксиальных контуров; на фпг. 3 — блок-схема устройства.
Датчик из пскоаксиальпых контуров сосТо 30 ит вз двух плоских обмоток (на фпг. 1 обмотки условно изображены одновитковыми), расположенных в непосредственной близости друг от друга, одна из которых подключена к генератору высокочастотного на напряжения (зажимы а-б), другая — к вольтметру (зажимы в-г). Размеры обмоток и расстояния между ними выбраны таким образом, что взаимоиндукцпя обмоток равна нулю. Соогвстственно напряжение на выходных захкимах в-г датчика равно нулю при наличии напряжеll)IB на входе датчика (зажимы а-б). Если обмотки расположены в одной .плосКости, то .расстояние между их центрами должно равняться I/ fl + г2, где rI и f2 — радиусы входной и выходной обмоток датчика соответственно.
Датчик находится вне вакуумной камеры.
С ним ипдуктивно связана обмотка, растюложенная в вакуумной камере и подключенная к контролируемой пленке. Если проводимость пленки равна нулю, напряжение на выходе датчика отсутствует. При увеличении проводимости пленки на выходе датчика появляется .напряжение, зависящее от величины проводимости.
Для увеличения чувствительности и точности измерений датчик может состоять из коаксиальных обмоток (см. фиг, 2). Входная обмотка 1 датчика подключена к генератору
322729
Предмет изобретения Рцг /
2 1
Жсг. 2
Составитель Л. Устинова
Техред Л. Богданова
Редакгор А. Батыгин
Корректоры: Е. Михеева и Т. Гревцова
Заказ 1!6/1 Изд. № 1773 Тираж 473 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, )К-35, Раушокая наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 высокочастотного напряжения (зажимы а-б).
Выходным напряжением датчика является напряжение, снимаемое с:последовательно соединенных обмоток 2 и 8.
С датчиком, находящимся вне вакуумной камеры, индуктивно связана обмотка 4, которая расположена в вакуумной камере и подключена к контролируемой пленке. Выходное напряжение датчика равно нулю при нулевой проводимости контролируемой пленки, а при увеличении проводимости, обусловленном увеличением толщины пленки в процессе вакуумного осаждения, па выходе датчика появляется напряжение, зависящее от проводимости пленки.
В соответствии с вышеизложенным блоксхем» устройства включает (см. фиг. 3): генератор I высокочастотного напряжения, подключенный к датчику 2, выходное напряжение которого контролирует вольтметр 8, .причем все перечисленные устройства находятся вне вакуумной камеры. С обмотками датчика индуктивно связана катушка связи 4, находящаяся в вакуумной камере, к которой под5 ключены выводные контакты осаждаемой и одновременно контролируемой, пленки, 10 Устройство для измерения электропроводности тонких пленок, содержащее .генератор напряжения, вакуумную камеру, датчик и вольтметр, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, датчик выполнен в
15 виде двух индуктивно связанных контуров, подключенных к генератору и вольтметру соответственно, расположен вне вакуумной камеры и связан с третьим контуром, распо lоженным в вакуумной камере с контролпру 20 мой пленкой.
