Четырехзондовая измерительная головка для определеиия удельного сопротивления полупроводниковых материалов
ОП И
ИЗОБ
22008
Союз Соебтскик
Социалистическил
Республик
Зависимый от пат
Заявлено 08.Х11.1
Приоритет 19.XI I.
Опубликовано 19, 1ПК G 01г 27100
Комитет ло делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
ДК 621,317.332.3(088.8) Дата опубликован
Автор изобретения
Иностр анец
Дитмер Тильман (Германская Демократическая Респуолика) Иностранное предприятие
Арбайтесштелле фюр Молекулярэлектроник (Германская Демократическая Республика) Заявитель
ЧЕТЫРЕХЗОНДОВАЯ ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ ГОЛОВКА
ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ
Изобретение опносиптся к области элект ро,измер итель,ных п1р;ибо ров.
И31ве стны четы реосзон дс1вые,измер ителыные головки для определен|ия уделыного сопрот1ивления полутп1роводникювых материа101в, например, д1иффузион1ных или эп1итаксиалыных слоев малюй площади, 1содержацеие линей1но пли
1свадраппО 11аспОложениые с м1и н имально В03можным боковым люфтом в направляющих, выполненных в оптически неп р озрачном элсме1нте, несколько учп1ругих зондс1в, не обеспсч и вают возможности нопооредспвенного наблтодения области измерения с01п1роти вления образца.
В предлагаемой головке направляющие для зондов вы полнены в оптически прозрачной не,иска KBI01110II пластине, установленной в поле зрен1ия измеритслыного м1икроскопа, центр системы зондов совпадает с оптимической oicblo микроскопа, зажатые концы зондов путем изгиба ,их располооке1ны вне поля зрения микроскопа, а направляющис для зондов могут быть вы,полнены нопосредство1сно в линзе объектива.
Такое выполнение головки позволяет»аб11одать область измерения сопротивления об разца непоаред1сттвенно в процессе изме1рен1ия.
Кроле того, с целью повышения точности иа1ведон1ия, на пласпине, линзе со стороны образца нанесена ма1ртоа, на1прнмер, в в1иде оптического перекрестья, непрозрачной точки
1или кольца, ок1ружающего систему зондов.
На ф ит. 1 п1ред1ставлена описы1ваемая голавка с изме1р1ителыным микро сксипом (частичHblй разрез); Hà фиг. 2 — ва1риàHT выпол1НЕН,ИЯ ГОЛОВ1СИ.
Прозрач1ная, оптичес1«п неискажаютцая пластина 1 снабжена направляющими отвер1стиями 2, в которых на стороне, обращенной к образцу 8, расположены опорные камни 4, слу10 жащие для досттттжения маленького бокoiB01 0 люфта в на1правляютцих зондов 5. В другом варианте исполнения (ф1иг. 2) нап1равляющне вьсполне1ны B 1HiH3B самopo Oábcl«1 IBB м11крмкопа. Зонды 5 проходят сперва Haipaллельно оси
6 системы зондов, кото1рая совпадает с оптнчccl oé Оcb 0 7 H3310PiHT01biHtol o IIHKPocK0illа д, а Затем изгибаются под пря1мым углом в сторону. Кобанцы загнутых частей зондов 5 зажаты так, что пружи нят. В варианте, показан20 нсм на фиг. 1, зажим обеспечен силой сккатия, возникающей между оболочкой измерительной
CO.1 0 B кчи 9 II 3 аи«им 1Ibl II I«01 bUOII 10, си аб ксниым пазами 11. В варианте, показа пном на фиг. 2, зажим получается с помощью двух зажимных колец 12, 1т, расположенных в тубусе измеритслынюго микроскопа. В об011х вар1иа1нтах необходимо концы зондов заж1имать так, чтобы их кснтактные острия становились уп1руго на образец и отступали на расстояние, обесзп печ и1ваютцее пластти не с нап1равляющнмн отперстня IIH 2 1(acaklHC с Ооразцом 8 H:l!kl 1ас1<пру!Ощих! его слоем 14. Прп этом места зажима зондов 5 и llx токовые вводы находятся вне поля зрения мп кроакопа. Показанные на чертежах заг!!утыс зонды являются л!ишь возможным Ва!рпън том иаполне!и1я; мож!но та!ы1(с располагать зонды пад подходящим углом отноаитель но горнзонтаlH и их концы зажимать в держателя."(, подвижных в вертикальном паправлеяи!1! с сохранением требований о пахождегпин мест заи(1ц!Ов зондов впе поля зрс-!! LI l H и с 0 Вп аде!Н11 и цш l т р а сп с т с м ы 3 Он до в с оптической осью микроскопа. С целью повышения точности юспировки па маленьких симметpH«iklblx 06p23 1IBx па cTcроне пластины или линзы, обращенной в образц, нанесена марка 15, например, в виде оптического пе рекрсспия, To«I(3 пересе"!ения которого совпадаст с центром системы зонд(IB, или маркпревочного кольца, Окружа10!цего на Очень небо.!ьшол! расстоянии зонды 5. Оптическое перекрестие может наход!Иться и в окуляре 16 измерительного мнкроскопа (!на фиг. не показан).
Измерительная головка работает следу!ощпм об разох1: перемещением образца 8, напр имер, с помощью крестового столика 17, можно опредетить расстояние границ об!разца от оптического перек!рест!Ия. Пр!и э том расстоян!ие поверхности об разца от пласт!и lbl 1 пли л!И нзы объектива настолько мало, что изображения по!Верх!Ности образца и о птического перекрестия В1пдны в поле эре !ия,измерительного
IiH I(p О с<КО и а l гр и и е 0 0 л ь ш Ов уВ е.панич е н E pkl е ще достаточ!но резких!и. Образец 8 перемещается в необходимое положение относ итель!!о опти«ecl(oro перекре ст1ия go измерения, Hoc le «evo измерительная голо|вка опускается;на образец. Освеще1и!е .и наблюдение образца производится через пластину 1 или линзу обьектива, если та служит телом, в котором вьппол c1
322008 1
4 ны направляющие OTBepcTIHH для зондов. Б по следнем случае зонды 5 опускают!ся па образец перемещепием тубуса мик!раскопа.
Таким образом, .наблюдение за положением
З образца во время измерении и юсги!ро!вка (регугпирование) его положения перед .измерением обеспечивает повышен!Ие то !Наст и изме!рения путем задания корректурных факторов,,BIBIIcящих от гeoAICTpikl!l(образца и положения юпдов па нем.
Предмет пзобрстснпя
1. Четырсхзс!!!давая измерительная головка для определения удельного сопроти!плен!ия полчпро1водпико вых мате!риалов, например, диффузионных илн эпитакаиальных слое!в малой
II;IoIllàIäH, содержащая од!Носторо!н!Не за катыс зонды, раап оложенные с воэможностью скольжения в продольном нап!равле!!!!и!и под действием сил упругости в направляющих с малым боковым люфтом, Отличающаяся тем, что, с целью непоаредс!пвенного паблюдепиия области измерения colllратнвления образца, напра!Вля25 !ОЩис Д1Я 30!нДО!В BbIIIIОл!наны В otk!т!ически HIPoэрачной пеиакажающей пс!астияе, установлен!Ной в п!оспе зрения Haiw!elpIHITельного микроскопа, п!ричем центр аистемы зонда в совпадает с оптичев!кой осью микроскопа, а зажатые зо кснцы зондов п!утем изгиба их рас!положены впе поля зрения микро!Ско па.
2. Головка по и. 1, отличающаяся тем, что папра вля10щие для зондов выполнены непосредспвен но в ли!Нзе обье!(Ти ва м!Ик!раскопа. зз 3. Головка по п. 1, 2, отличающаяся тем, что, с цель!0 по!вышенпя то IIHoопи наведения, Ii!8 пластине, линзе со cToipoiklbl образца нанесена марка, наприме!р, в Ни де оптическ ого пе-! рекрестья, непров!рачной точки или кольца, ок4Q ружаютцего аи!Стему 30IkI+OIB.
322008
Узел I
17 Ри2 1
Рг. 2
Составители М. Илленко
Техред Л. Богданова
Редактор С. Хейфии
Корректор E. Михеева
Заказ 6397 Изд. ¹ 1601 Тирани 473 11одипсиос
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий ирп Совете Министров СССР
Ь10сква, /К- )э, Ра1 п!ская наб., д.
Загорская типография
