Устройство для приведения двух изображений в одну плоскость без нарушения масштаба

Союз Советскив

Социалистических

Республик

318006

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН Ия

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

6 4

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

МПК G 02Ь 21 10

Заявлено 12Л 111.1968 (№ 1262495 26-25) с присоединением заявки ¹ -—

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Приоритет—

Опубликовано 19.Х.1971. Бюллетень № 31

Дата опубликования описания Об.1.1972

УДК 535.822.9 (088.8) Авторы изобретения

Д. 1О. Гальперн и A. П. Грамматин

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРИВЕДЕНИЯ ДВУХ ИЗОБРАЖЕНИЙ

В ОДНУ ПЛОСКОСТЬ БЕЗ НАРУШЕНИЯ МАСШТАБА

Изобретение относится к приборам для приведения двух изображений в одну плоскость без нарушения масштаба.

Известны приборы для совмещения двух плоскостей наводки, содержащие микрообъектив с тубусом «бесконечность», окуляр, призменный блок.

Предложенный прибор позволяет исключить перефокусировку благодаря тому, что в одной половине выходного зрачка объектива установлена линза, передняя главная плоскость которой совпадает с задним фокусом объектива, а плоскости предмета совпадают с передним фокусом объектива и передним фок>сом системы, состоящей из линзы и объектива.

На чертеже представлена схема предлагаемого устройства, содержащего объектив 1 микроскопа, линзу 2, перекрывающую половину зрачка; зеркало 3 темного поля.

Для обеспечения большого зазора между шаблоном и пластиной предусмотрен двухфокусный объектив, потери контраста устра-, няются наблюдением в темном поле. На тем- ном фоне наблюдаются топкие светлые линии, соответствующие контурам рисунка па полупроводниковой пластине и контурам ри-, сунка на шаблоне. Освещение производится ( через крайнюю кольцевую зону выходного зрачка объектива, а центральная круглая зо- i на зрачка используется для наблюдения.

1Î

Предмет изобретения

Устройство для приведения двух изображений в одну плоскость без нарушения масштаба, содержащее объектив, тубусную лин-, зу, окуляр, отличающееся тем, что, с целью, исключения перефокусировки, в одной из по-, ловин выходного зрачка объектива установ-, лена линза, передняя главная плоскость ко( торой совпадает с задним фокусом объектива, 20 а плоскости предмета совпадают с передним, фокусом объектива и передним фокусом системы, состоящей из этой линзы и объектива.

3180О6

Редактор T. Орловская

Заказ 509/1959 Изд. ¹ 1361 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров ССС1

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»

Составитель А. Шеломова

Техред Е, Борисова

Корректоры Е. Усова и Е. Исакова